1) scanning white-light interferometry
扫描白光干涉术
3) scanning white-light interferometry
白光扫描干涉法
1.
The technology of high-precision 3-D surface topography analyzing based on scanning white-light interferometry is described in details.
白光扫描干涉法在三维表面形貌的测量中有着广阔的应用前景。
2.
Scanning white-light interferometry for 3D surface topography has a wide application.
本文在系统地分析和总结了各种三维表面形貌测量方法,比较了各种方法的优缺点,重点对使用白光扫描干涉法高精度测量三维表面形貌技术进行了研究。
4) Scanning White-light Interfeerometry profilometer
白光扫描干涉轮廓仪
1.
This paper presents a Z direction micro-displacement platform with diffraction grating interference displacement sensor , the position accuracy is obtained in the Scanning White-light Interfeerometry profilometer.
本文介绍了一种以衍射光栅作为计量标准器的垂直方向上的微位移工作台,用来实现在白光扫描干涉轮廓仪的表面形貌测量中Z方向上的精密定位,该工作台实现了轮廓仪的闭环测量和控制,文章重点讲述了光栅信号处理的硬件及软件细分技术,以及压电陶瓷驱动电路的原理和工作台闭环定位控制的流程。
5) vertical scanning white-light interference
垂直扫描白光干涉
6) White Light Interferometry
白光干涉术
补充资料：扫描电子显微镜(见扫描电子显微术)
扫描电子显微镜(见扫描电子显微术)
scanning eleetron mieroseoPe
扫描电子显微镜scanning eleetron mieroseope见扫描电子显微术。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条