1) precise conveying robot
精密传输机器人
1.
Optimum reliability distribution of precise conveying robot system based on precision and cost controls;
基于精度成本控制的精密传输机器人系统可靠度优化配置方法
2) high-precision parallel robot
精密并联机器人
1.
Error analysis and correction for high-precision parallel robots;
精密并联机器人系统误差的分析与补偿
3) Precision assembly robot
精密装配机器人
4) wafer-handling robot
硅片传输机器人
1.
The design and implementation of wafer-handling robot controller based on PMAC;
基于PMAC的硅片传输机器人控制器的设计与实现
2.
In this paper,the evolution of wafer-handling robot is reviewed,the typical structures of wafer-handling robot are discussed,the present research status of wafer-handling robot is analysed and the typical products are introduced.
本文综述了硅片传输机器人的发展历史,探讨了硅片传输机器人的典型结构,分析了硅片传输机器人的研究现状,并介绍了硅片传输机器人的典型产品。
5) wafer robot
硅片传输机器人
1.
The design and research of radial and linear movement wafer robot;
径向直线运动型硅片传输机器人的设计与研究
2.
The study on wafer robot is paid more attention overseas, and the technological system has been formed.
硅片传输机器人是半导体制造业中重要的传输、定位设备,其工作的速度、定位精度和可靠性等直接影响硅片的生产效率和制造质量。
6) wafer transfer robot
晶圆传输机器人
1.
As an important part of IC equipment, wafer transfer robot undertakes the transit of wafer precisely, fast and steadily.
晶圆传输系统是IC装备中必不可少的组成部分,其中的晶圆传输机器人是晶圆传输系统的关键部件,主要承担着晶圆的精确定位与快速、平稳搬运任务。
补充资料：110超远程精密跟踪雷达
５０年代起，国外就发展了弹道导弹武器等。我国为了积极防御，能探测几千里以外的入侵目标，必须研制超远程的预警、跟踪雷达，对外空目标的探测、跟踪，建立弹道导弹预警（空间监视）系统、防御系统。１９５８年提出研制超远程雷达。
雷达技术专家申仲义担起了这一十分艰巨的任务。他带领１４所工程技术人员从预先研究开始，在突破多项关键技术后才进入工程设计阶段。１９５９年他组织研制一部１１０模拟试验雷达，首次收到了离地球３８万公里的月球的较强回波，取得了观测外空目标的初步成果。１９６５年到１９７０年又开展了卡塞格伦式单脉冲天线、脉冲压缩、脉冲多卜勒测速、参量放大器、先进计算机的应用、大型天线结构及转台的研究。上述各种新技术的突破，为研制超远程１１０跟踪雷达作了前期工程准备，进入了工程实施阶段。１９７７年，我国第一部超远程跟踪雷达装备了部队。它能在２０００多公里以外跟踪非合作的外空目标，在我国发射洲际火箭、卫星等工程中多次执行了跟踪测量国外的外空目标的任务。１１０雷达的研制成功，使我国成为世界上第三个拥有这种大型雷达的国家。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
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