1) ellipsometer
[,elip'sɔmitə]
椭圆偏振仪
1.
Application of Ellipsometer in the Field of Nano-measurement;
椭圆偏振仪在纳米测量技术中的应用
2.
To correct measurement error of the optical thin film parameter measured by singal wavelengh ellipsometer,the error source of ellipsometer measuring film refractive index and thickness is analyzed base on metrical theory.
为了消除单波长消光椭圆偏振仪测量薄膜光学参数的测量误差,从椭圆偏振仪的测量原理和方法分析了椭圆偏振法测量薄膜折射率和厚度可能的误差来源。
3.
X-ray photoelectron spectroscopy,atomic force microscope and ellipsometer were used to c.
首先制作出了透明且光滑平整的无孔聚砜薄膜,然后以对叠氮苯甲酸为光敏剂,在λ=365 nm紫外光的辐照下,用二步法将聚乙二醇接枝在聚砜膜表面,通过X射线-光电子能谱分析、原子力学显微镜及椭圆偏振仪等测试手段,对接枝前后聚砜膜表面形貌进行了表征,证明接枝的聚乙二醇层呈刷状。
2) ellipsometry
[,elip'sɔmitri]
椭圆偏振仪
1.
Ellipsometry is an optical analytical technique used to determine the optical properties and morphology of a surface from measurements of the change in polarization state of reflecting light.
本论文的主要工作包括：通过模拟数据的计算详细分析了椭圆偏振仪数据处理的复杂性，讨论了测量误差和搜寻精度对准确求解的影响；采用四区域平均法测量，消除了椭偏仪各元件方位角误差引起的测量误差；将模拟退火算法引入到了椭偏仪的数据处理中，编制了一系列进行数据处理的程序，对模拟退火算法的冷却参数经过模拟计算进行了优化；针对厂家提供的标准薄膜样品和本实验自制的“SiN_x／玻璃”薄膜结构进行了测量和数据处理，得到了可靠的结果。
3) spectroscopic ellipsometry
椭圆偏振光谱仪
4) spectroscopic ellipsometery
光谱椭圆偏振仪
5) ellipsometer
[,elip'sɔmitə]
椭圆(偏振)测厚仪
6) elliptical polarization
椭圆偏振
1.
It is introduced briefly the modification way and result of lignosulphonate(LS) as coal-water slurry(CWS) additive and determination of the adsorption film thicknesses of the LS and modified lignosulphonate(MLS) on the smooth surface of coal and microscopic slide by the method of elliptical polarization.
简要介绍了木质素磺酸钠(简称木钠,LS)用作水煤浆添加剂的改性方法及结果,并采用椭圆偏振法测定了木钠及改性木钠(MLS)在光滑的煤表面和载波片表面的吸附膜厚度,定量地对比了添加剂在固体表面吸附的空间位阻作用的大小。
2.
By discussing the problem of superposition of two linear polarized beams which are of the same frequency,of random vibrating directions and of the constant phase difference,the general expression of the coherent conditions and elliptical polarization is obtained.
通过对同频率、任意振动方向、相位差恒定的两列线偏振光波叠加问题的讨论，得到相干条件、椭圆偏振的一般表
补充资料：椭圆偏振光
光的电场方向或光矢量末端在垂直于传播方向的平面上描绘出的轨迹为一椭圆的偏振光。
当两个相互垂直的振动同时作用于一点时，若它们的频率相同并且有固定的位相差，则该点的合成振动的轨迹，一般来说，呈椭圆形。自然光在晶体内所产生的寻常光（o光）和非常光（e光），虽属频率相同和振动方向相互垂直，但是，它们之间的位相差，即使在同一点，亦因时而异，不是固定的，所以这样的o光和e光的合成不能产生椭圆偏振光。
然而,如果以一线偏振光代替自然光射到如图1所示的、光轴平行于晶面的单轴晶体的表面，并且令其振动平面与晶体光轴成一夹角θ，于是，在晶体表面上，振幅为A的线偏振光分解为振幅为Asinθ的o光和振幅为Acosθ的e光,并且此时o光和e光有相同的位相。当进入晶体内，o光和e光虽在相同的方向传播，但是传播速度不同，因而产生位相差
式中n0和ne分别为该晶体对在真空中波长为λ0的o光和e光的主折射率,d为两者透过晶体的厚度。图2给出了由穿过不同厚度的o光和e光合成的光矢量末端的轨迹，除 δ=0和π外，都是椭圆形。这样的光就是椭圆偏振光,显然δ=0和π所对应的线偏振光可视为椭圆偏振光的特例；不难想到，当θ＝45°时,与δ＝π/2和3π/2对应的是圆偏振光。所以,图1所示的系统即为产生椭圆偏振光或圆偏振光的简单装置。
为便于产生和分析各种椭圆偏振光，还需要有其他种产生椭圆偏振光的光学元件，巴俾涅补偿器和索累补偿器是其中最常见的两种。
①巴俾涅补偿器 如图3所示，是由光轴相互垂直的两块石英楔形板组成的复合棱镜，其中楔形板的折射角α 很小。当线偏振光垂直地射入补偿器时,在上楔板内，与图1所示的情况一样,线偏振光分解为o光和e光两部分,它们沿着同一方向传播，o、e两光的位相差δ1取决于它们在上楔板中所穿过的晶体厚度d1，但是在下楔板内，由于上、下两楔板的晶体光轴相互垂直，所以在上楔板内的o光和e光进入下楔板内就分别变成了e光和o光，它们间的位相差 δ2取决于它们在下楔板内穿过的晶体厚度d2，于是，透过巴俾涅补偿器的o光和e光的位相差为
在巴俾涅补偿器内，当偏振光在两楔的中央穿过,d1=d2，则自补偿器出射的o光和e光之间位相差为零。当偏振光在上楔板中穿过的晶体厚度d1与在下楔板中穿过的晶体厚度d2不同时，则两光间产生一定的位相差。所以随着光通过楔板的不同水平位置,就能得到不同的位相差,也就是得到不同的椭圆偏振光。显然，为了使光束截面上各点的位相差相同,这种补偿器必须使用极细的光束,这是它的缺点。为了克服这一缺点，可以采用索累补偿器。
②索累补偿器 如图4所示,是由两个光轴平行的石英楔板和一个光轴垂直于两楔板光轴的石英平行平面板组成的复合棱镜。上楔板可由微动螺旋使其本身作平行的移动。当上楔板这样移动时，两楔板的总厚度可连续改变。当两楔板的总厚度等于下面石英平行平面板的厚度时，穿过补偿器的o光和e光之间位相差为零。由改变两楔板总厚度与石英平行平面板厚度之差即可得到较宽截面上有相同位相差的光束。
当两个相互垂直的振动同时作用于一点时，若它们的频率相同并且有固定的位相差，则该点的合成振动的轨迹，一般来说，呈椭圆形。自然光在晶体内所产生的寻常光（o光）和非常光（e光），虽属频率相同和振动方向相互垂直，但是，它们之间的位相差，即使在同一点，亦因时而异，不是固定的，所以这样的o光和e光的合成不能产生椭圆偏振光。
然而,如果以一线偏振光代替自然光射到如图1所示的、光轴平行于晶面的单轴晶体的表面，并且令其振动平面与晶体光轴成一夹角θ，于是，在晶体表面上，振幅为A的线偏振光分解为振幅为Asinθ的o光和振幅为Acosθ的e光,并且此时o光和e光有相同的位相。当进入晶体内，o光和e光虽在相同的方向传播，但是传播速度不同，因而产生位相差
式中n0和ne分别为该晶体对在真空中波长为λ0的o光和e光的主折射率,d为两者透过晶体的厚度。图2给出了由穿过不同厚度的o光和e光合成的光矢量末端的轨迹，除 δ=0和π外，都是椭圆形。这样的光就是椭圆偏振光,显然δ=0和π所对应的线偏振光可视为椭圆偏振光的特例；不难想到，当θ＝45°时,与δ＝π/2和3π/2对应的是圆偏振光。所以,图1所示的系统即为产生椭圆偏振光或圆偏振光的简单装置。
为便于产生和分析各种椭圆偏振光，还需要有其他种产生椭圆偏振光的光学元件，巴俾涅补偿器和索累补偿器是其中最常见的两种。
①巴俾涅补偿器 如图3所示，是由光轴相互垂直的两块石英楔形板组成的复合棱镜，其中楔形板的折射角α 很小。当线偏振光垂直地射入补偿器时,在上楔板内，与图1所示的情况一样,线偏振光分解为o光和e光两部分,它们沿着同一方向传播，o、e两光的位相差δ1取决于它们在上楔板中所穿过的晶体厚度d1，但是在下楔板内，由于上、下两楔板的晶体光轴相互垂直，所以在上楔板内的o光和e光进入下楔板内就分别变成了e光和o光，它们间的位相差 δ2取决于它们在下楔板内穿过的晶体厚度d2，于是，透过巴俾涅补偿器的o光和e光的位相差为
在巴俾涅补偿器内，当偏振光在两楔的中央穿过,d1=d2，则自补偿器出射的o光和e光之间位相差为零。当偏振光在上楔板中穿过的晶体厚度d1与在下楔板中穿过的晶体厚度d2不同时，则两光间产生一定的位相差。所以随着光通过楔板的不同水平位置,就能得到不同的位相差,也就是得到不同的椭圆偏振光。显然，为了使光束截面上各点的位相差相同,这种补偿器必须使用极细的光束,这是它的缺点。为了克服这一缺点，可以采用索累补偿器。
②索累补偿器 如图4所示,是由两个光轴平行的石英楔板和一个光轴垂直于两楔板光轴的石英平行平面板组成的复合棱镜。上楔板可由微动螺旋使其本身作平行的移动。当上楔板这样移动时，两楔板的总厚度可连续改变。当两楔板的总厚度等于下面石英平行平面板的厚度时，穿过补偿器的o光和e光之间位相差为零。由改变两楔板总厚度与石英平行平面板厚度之差即可得到较宽截面上有相同位相差的光束。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条