2) MEMS
微电子机械系统
1.
The Development Situation of MEMS;
微电子机械系统(MEMS)发展研究
2.
STUDY ON THE MICRO-TORQUE MEASUREMENT FOR MICRO-ACTUATORS IN MEMS;
微电子机械系统中微致动器力矩测试技术的研究
3.
Application and Package of Military MEMS;
军用微电子机械系统的应用及封装
3) Micro electro mechanical system
微电子机械系统
1.
Micro electro mechanical systems (MEMS) are the micro mechatronics fabricated by microelectronic technology and micromachining.
微电子机械系统 (MEMS)是结合微电子技术和微机械加工技术制造而成的微型机电一体化系统。
4) MEMS
微机械电子系统
1.
Ultra-Solid-Lubrication and Its Application Prospect in MEMS;
超固体润滑及其在微机械电子系统中的应用前景
6) Micro-electro-mechanical system
微电子机械系统
1.
The nonlinear model of the single degree of freedom for a resonator of micro-electro-mechanical system(MEMS) is set up.
该文建立了某微电子机械系统共振器的单自由度非线性力学模型 ,由微分方程的线性化方法和一元高次方程理论 ,讨论了自由振动的平衡位置以及系统非线性自由振动的频率和运动响应的求解方法 ,给出了刚度较小时的非线性自由振动的解析解 ,这对相应的共振器设计具有一定的参考价值。
补充资料：电子探针微区分析
分子式：
CAS号：
性质：又称电子探针显微分析。试样非破坏性微区化学元素定性定量分析方法。试样直径在1μm、体积为1μm3范围，以直径0.1～1μm的电子束激发，其中各种元素受激发射出特征X射线。以此确定微区中所含化学元素，并根据其强度进行定量分析。可用显微镜确定试样某一位置上的组分及组分的空间分布。
CAS号：
性质：又称电子探针显微分析。试样非破坏性微区化学元素定性定量分析方法。试样直径在1μm、体积为1μm3范围，以直径0.1～1μm的电子束激发，其中各种元素受激发射出特征X射线。以此确定微区中所含化学元素，并根据其强度进行定量分析。可用显微镜确定试样某一位置上的组分及组分的空间分布。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条