1) spectroellipsometry
椭圆偏振谱法
2) Spectroscopic ellipsometry
椭圆偏振光谱法
1.
There are two ways to measure the thickness including indirect method (gravity method, which transforms into oxidation film thickness by calculation) and direct method (spectroscopic ellipsometry), Where using ellipsometric measurement is relatively less in the domestic now.
测量材料表面氧化膜厚度的方法包括间接法(热重法,通过计算转换为氧化层厚度)和直接法(椭圆偏振光谱法),其中椭圆偏振光谱法国内用的相对较少。
2.
In situ spectroscopic ellipsometry was employed to investigate the corrosion behavior of AZ40 magnesium alloy in a simulated cooling water without and with molybdate inhibitor.
采用原位椭圆偏振光谱法研究镁合金在模拟工业冷却水中的腐蚀及添加钼酸钠对腐蚀的抑制作用,利用单层膜模型解析椭圆偏振光谱实验数据,得到"电极—介质"界面层厚度及光学常数的动态变化规律,由此将镁合金在模拟冷却水中的腐蚀分为3个阶段:自然氧化膜溶解、吸附膜形成、腐蚀产物沉积,添加钼酸钠使腐蚀过程中自然氧化膜溶解减弱、吸附膜和沉积膜变得致密,从而有效抑制镁合金腐蚀。
3) spectroscopy ellipsometry
椭圆偏振法
1.
Spectroscopy Ellipsometry (S-E) was applied to investigate the effect of tetragonal ZrO2 (t-ZrO2) in oxide film on corrosion resistance of Zr-Sn-Nb alloy.
8MPa的高压釜中腐蚀,用椭圆偏振法研究氧化膜中四方氧化锆对Zr-Sn-Nb合金耐腐蚀性的影响。
4) spectroscopic ellipsometry
椭圆偏振法
1.
Meanwhile the change process of the formed surface film on carbon steel was monitored by spectroscopic ellipsometry in sea waters with water-soluble carbo.
采用氧化法对原料进行降解,得到不同分子量的产品,用粘度法测量分子量;采用失重法,结合极化曲线法,在不同浓度海水体系中,对原料和降解产品进行腐蚀性能评价;并用椭圆偏振法分析水溶性羧甲基壳聚糖及降解产品的缓蚀机理。
6) spectroscopic ellipsometry
椭圆偏振光谱仪
补充资料：椭圆偏振光
光的电场方向或光矢量末端在垂直于传播方向的平面上描绘出的轨迹为一椭圆的偏振光。
当两个相互垂直的振动同时作用于一点时，若它们的频率相同并且有固定的位相差，则该点的合成振动的轨迹，一般来说，呈椭圆形。自然光在晶体内所产生的寻常光（o光）和非常光（e光），虽属频率相同和振动方向相互垂直，但是，它们之间的位相差，即使在同一点，亦因时而异，不是固定的，所以这样的o光和e光的合成不能产生椭圆偏振光。
然而,如果以一线偏振光代替自然光射到如图1所示的、光轴平行于晶面的单轴晶体的表面，并且令其振动平面与晶体光轴成一夹角θ，于是，在晶体表面上，振幅为A的线偏振光分解为振幅为Asinθ的o光和振幅为Acosθ的e光,并且此时o光和e光有相同的位相。当进入晶体内，o光和e光虽在相同的方向传播，但是传播速度不同，因而产生位相差
式中n0和ne分别为该晶体对在真空中波长为λ0的o光和e光的主折射率,d为两者透过晶体的厚度。图2给出了由穿过不同厚度的o光和e光合成的光矢量末端的轨迹，除 δ=0和π外，都是椭圆形。这样的光就是椭圆偏振光,显然δ=0和π所对应的线偏振光可视为椭圆偏振光的特例；不难想到，当θ＝45°时,与δ＝π/2和3π/2对应的是圆偏振光。所以,图1所示的系统即为产生椭圆偏振光或圆偏振光的简单装置。
为便于产生和分析各种椭圆偏振光，还需要有其他种产生椭圆偏振光的光学元件，巴俾涅补偿器和索累补偿器是其中最常见的两种。
①巴俾涅补偿器 如图3所示，是由光轴相互垂直的两块石英楔形板组成的复合棱镜，其中楔形板的折射角α 很小。当线偏振光垂直地射入补偿器时,在上楔板内，与图1所示的情况一样,线偏振光分解为o光和e光两部分,它们沿着同一方向传播，o、e两光的位相差δ1取决于它们在上楔板中所穿过的晶体厚度d1，但是在下楔板内，由于上、下两楔板的晶体光轴相互垂直，所以在上楔板内的o光和e光进入下楔板内就分别变成了e光和o光，它们间的位相差 δ2取决于它们在下楔板内穿过的晶体厚度d2，于是，透过巴俾涅补偿器的o光和e光的位相差为
在巴俾涅补偿器内，当偏振光在两楔的中央穿过,d1=d2，则自补偿器出射的o光和e光之间位相差为零。当偏振光在上楔板中穿过的晶体厚度d1与在下楔板中穿过的晶体厚度d2不同时，则两光间产生一定的位相差。所以随着光通过楔板的不同水平位置,就能得到不同的位相差,也就是得到不同的椭圆偏振光。显然，为了使光束截面上各点的位相差相同,这种补偿器必须使用极细的光束,这是它的缺点。为了克服这一缺点，可以采用索累补偿器。
②索累补偿器 如图4所示,是由两个光轴平行的石英楔板和一个光轴垂直于两楔板光轴的石英平行平面板组成的复合棱镜。上楔板可由微动螺旋使其本身作平行的移动。当上楔板这样移动时，两楔板的总厚度可连续改变。当两楔板的总厚度等于下面石英平行平面板的厚度时，穿过补偿器的o光和e光之间位相差为零。由改变两楔板总厚度与石英平行平面板厚度之差即可得到较宽截面上有相同位相差的光束。
当两个相互垂直的振动同时作用于一点时，若它们的频率相同并且有固定的位相差，则该点的合成振动的轨迹，一般来说，呈椭圆形。自然光在晶体内所产生的寻常光（o光）和非常光（e光），虽属频率相同和振动方向相互垂直，但是，它们之间的位相差，即使在同一点，亦因时而异，不是固定的，所以这样的o光和e光的合成不能产生椭圆偏振光。
然而,如果以一线偏振光代替自然光射到如图1所示的、光轴平行于晶面的单轴晶体的表面，并且令其振动平面与晶体光轴成一夹角θ，于是，在晶体表面上，振幅为A的线偏振光分解为振幅为Asinθ的o光和振幅为Acosθ的e光,并且此时o光和e光有相同的位相。当进入晶体内，o光和e光虽在相同的方向传播，但是传播速度不同，因而产生位相差
式中n0和ne分别为该晶体对在真空中波长为λ0的o光和e光的主折射率,d为两者透过晶体的厚度。图2给出了由穿过不同厚度的o光和e光合成的光矢量末端的轨迹，除 δ=0和π外，都是椭圆形。这样的光就是椭圆偏振光,显然δ=0和π所对应的线偏振光可视为椭圆偏振光的特例；不难想到，当θ＝45°时,与δ＝π/2和3π/2对应的是圆偏振光。所以,图1所示的系统即为产生椭圆偏振光或圆偏振光的简单装置。
为便于产生和分析各种椭圆偏振光，还需要有其他种产生椭圆偏振光的光学元件，巴俾涅补偿器和索累补偿器是其中最常见的两种。
①巴俾涅补偿器 如图3所示，是由光轴相互垂直的两块石英楔形板组成的复合棱镜，其中楔形板的折射角α 很小。当线偏振光垂直地射入补偿器时,在上楔板内，与图1所示的情况一样,线偏振光分解为o光和e光两部分,它们沿着同一方向传播，o、e两光的位相差δ1取决于它们在上楔板中所穿过的晶体厚度d1，但是在下楔板内，由于上、下两楔板的晶体光轴相互垂直，所以在上楔板内的o光和e光进入下楔板内就分别变成了e光和o光，它们间的位相差 δ2取决于它们在下楔板内穿过的晶体厚度d2，于是，透过巴俾涅补偿器的o光和e光的位相差为
在巴俾涅补偿器内，当偏振光在两楔的中央穿过,d1=d2，则自补偿器出射的o光和e光之间位相差为零。当偏振光在上楔板中穿过的晶体厚度d1与在下楔板中穿过的晶体厚度d2不同时，则两光间产生一定的位相差。所以随着光通过楔板的不同水平位置,就能得到不同的位相差,也就是得到不同的椭圆偏振光。显然，为了使光束截面上各点的位相差相同,这种补偿器必须使用极细的光束,这是它的缺点。为了克服这一缺点，可以采用索累补偿器。
②索累补偿器 如图4所示,是由两个光轴平行的石英楔板和一个光轴垂直于两楔板光轴的石英平行平面板组成的复合棱镜。上楔板可由微动螺旋使其本身作平行的移动。当上楔板这样移动时，两楔板的总厚度可连续改变。当两楔板的总厚度等于下面石英平行平面板的厚度时，穿过补偿器的o光和e光之间位相差为零。由改变两楔板总厚度与石英平行平面板厚度之差即可得到较宽截面上有相同位相差的光束。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条