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1)  titanium silicide
硅化钛
1.
Preparation and application of titanium silicide thin films;
硅化钛薄膜的制备与应用
2.
Properties and Preparation of Titanium Silicide Thin Films and Nanowires by APCVD;
APCVD法制备硅化钛纳米线、薄膜及其性能的研究
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2)  TiSi_2
硅化钛
1.
The Research on the Process of SOI Self-Aligned TiSi_2;
SOI自对准硅化钛工艺研究
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3)  titanium silicon carbide
碳硅化钛
4)  titanium silicon carbide ceramic
钛碳化硅
5)  titanium-silicon nitride
氮化硅钛
6)  TiSi2
二硅化钛
补充资料：硅化钛
CAS：12039-83-7
熔点：1540℃
中文名称：硅化钛
英文名称：titanium silicide
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参考词条