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1)  Secondary electron composition contrast image
二次电子成分衬度像
2)  secondary electron composition contrast
二次电子成分衬度
3)  Secondary electron image(SEI)
二次电子成像
4)  Secondary electron line
二次电子衬度曲线
5)  resolution of the secondary electron image
二次电子像的分辨本领
6)  Secondary electron(SE)image
二次电子(SE)像
补充资料:电子衍衬像
      用透射电子显微镜拍摄的晶体衍射衬度像。可以用来观察晶体缺陷,如位错、层错等。
  
  透射电子显微镜(见电子显微镜)于1932年问世之后,就因其分辨本领高而用来观察光学显微镜所看不见的细节。可是对于固体材料,由于电子的穿透本领弱,早期只能借助表面复型技术(用有机薄膜把固体表面状态复制下来)观察固体表面的形貌。这种电子显微像的衬度借助于物镜光阑孔对散射电子的吸收而形成,故称吸收衬度。50年代发展了薄膜制备技术,才开始用电子显微镜来观察固体材料的内部结构。在电子显微镜中,电子被薄晶体试样所衍射,用衍射束(或透射束)所形成的电子显微像,其衬度来源于衍射波振幅的变化,为衍射振幅衬度像,简称衍衬像。这样就发展了衍衬技术。
  
  如果让透射束和衍射束同时参与成像,像就能反映出晶体结构的周期性(见点阵像)。但如果只让透射束或某个衍射束通过物镜光阑,则不能形成反映晶体结构周期的像。不过,因薄晶体下表面不同地点衍射波的振幅(及强度)分布对应于晶体各部分不同的衍射能力,当晶体中存在缺陷时,缺陷区域的衍射能力不同于完整区域,使各衍射波(及透射波)的振幅(及强度)分布不均匀,反映出晶体缺陷的分布情形。这就是衍衬像的成像原理。晶体缺陷衍射强度的确切来由可借助电子衍射理论来阐明。运动学衍射理论可以给出一个定性的解释。动力学衍射理论可以给出定量的解释(见衍射动力学理论)。
  
  衍衬像大体可分为两种类型:①是具有一定宏观不均匀性(厚度、取向不同等)的完整晶体所产生的,像上呈一些黑线,称为消光轮廓,类似物理光学中的等厚与等倾干涉条纹。②是由晶体缺陷所产生的。例如堆垛层错(见面缺陷)在像上表现为黑白相间的条纹(图1),位错则表现为直线或曲线(图2)。
  
  在实际工作中,为了便于解释,常用双光束条件成像。为此需调整晶体取向,只令某一衍射束充分满足布喇格条件,这样就只有一个衍射束的强度比较强,可以只考虑此衍射束与透射束之间的相互作用。建立在上述近似基础上的衍射理论称双光束动力学理论,用它可以解释许多缺陷的衍射衬度。在双光束条件下,如果衍射束成像,所得的像称暗场像;若用透射束成像,则称明场像。
  
  随着透射电子显微镜分辨本领的提高,70年代发展了弱束技术衍衬像。利用远离布喇格条件的弱衍射束得到的暗场像有较高的分辨率。
  
  

参考书目
   全国第二届金属物理学术会议论文集编辑委员会编:《X射线学及电子显微术进展》,第267页,上海科学技术出版社,上海,1966。
   P.B.Hirsch,et αl.,Electron Microscopy of Thin Crystals,2nd ed., Krieger, New York, 1977.
  

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