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1)  precision lapping
精密研磨
1.
Research on Precision Lapping of Quartz Crystal;
石英晶体精密研磨技术的研究
2.
The model was used to study the effect of craftwork parameter and the surface affected layer,make sure the correlation of it,to optimize the craftwork parameter and perfect the sapphire precision lapping.
该模型可以研究在加工过程中,主要工艺参数对加工效果、加工效率、所导致的加工表面损伤层的影响,确定它们之间的相互关系,进而优化工艺参数,完善蓝宝石材料精密研磨加工的水平。
2)  super precise lapping
超精密研磨
1.
To tackle the problem in the course of super precise lapping and polishing,the expert system to direct the operation of(super) precising lapping and polishing is designed.
针对超精密研磨和抛光加工过程中出现的问题,设计出指导研磨和抛光加工过程的专家系统。
3)  Ultra-precision Plane Lapping
超精密平面研磨
1.
Influence of Ultra-precision Plane Lapping Parameter on Accuracy;
超精密平面研磨加工参数对精度的影响
4)  precise dimple grinder
精密凹坑研磨仪
5)  Precision lapping and polishing
精密研磨抛光
6)  the ultra-precision lapping
超精密研磨加工
补充资料:Anglelapping角度研磨

angle lapping 的目的是为了测量junction的深度,所作的芯片前处理,这种采用光线干涉测量的方法就称之angle lapping。公式为xj=λ/2 nf即junction深度等于入射光波长的一半与干涉条纹数之乘积。但渐渐的随着vlsi组件的缩小,准确度及精密度都无法因应。如srp(spreading resistance prqbing)也是应用angle lapping的方法作前处理,采用的方法是以表面植入浓度与阻值的对应关系求出junction的深度,精确度远超过入射光干涉法。

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