1) super-precision mirror surface grinding
超精密镜面加工
1.
The technology of ELID grinding was successfully applied to super-precision mirror surface grinding of such hard and brittle materials as hard metals, engineering caramics and optical glass.
介绍了ＥＬＩＤ磨削技术的基本原理，分析了ＥＬＩＤ技术磨削硬脆材料的加工机理，并应用该技术对硬质合金、工程陶瓷和光学玻璃等典型硬脆材料实现了超精密镜面加工。
2) precise mirror molar
精密镜面加工
4) precision and ultra-precision machining
精密超精密加工
5) ultraprecision machining
超精密加工
1.
Application of SPM in ultraprecision machining;
扫描探针显微镜在超精密加工中的应用
2.
Study on the degenerative layer in ultraprecision machining of aluminium composites;
超精密加工铝基复合材料的切削变质层
3.
According to the requirements of development plan- ning in the future,we positively probe into the technology of precision and ultraprecision machining at home and overseas, and analyze its present status as well as propose the imple- mental methods and the considered problems.
根据未来工艺发展规划要求,积极探索国内外精密超精密加工技术,对该项技术的现状进行了分析,作出综述,并提出了实施该项技术的具体途径及所要考虑的问题。
6) ultra precision machining
超精密加工
1.
Study on the technology of the ultra precision machining for the optical components in laser nuclear fusion;
激光核聚变光学元件超精密加工技术的研究
2.
The technology of single point diamond turning(SPDT) is a new technique widely used in the world since 1980’s, it is very useful for ultra precision machining.
单点金刚石切削(SPDT)技术是上世纪80年代以来国际上推广应用的一项新技术,是实现超精密加工的有效技术途径。
3.
The ultra precision machining aims at obtaining the designed surface functions through the surface quality controlling.
超精密加工的目标是通过表面质量控制获得预定的表面功能。
补充资料：切削加工:超精密加工
20世纪60年代为了适应核能﹑大规模集成电路﹑激光和航天等尖端技术的需要而发展起来的精度极高的一种加工技术。到80年代初﹐其最高加工尺寸精度已可达10纳米(1纳米=0.001微米)级﹐表面粗糙度达1纳米﹐加工的最小尺寸达 1微米﹐正在向纳米级加工尺寸精度的目标前进。纳米级的超精密加工也称为纳米工艺(nanotechnology) 。超精密加工是处于发展中的跨学科综合技术。
超精密加工的精度比传统的精密加工提高了一个以上的数量级﹐除需要采用新的加工方法或新的加工机理之外﹐对工件材质﹐加工设备﹑工具﹑测量和环境条件等都有特殊的要求。工件材质必须极为细致均匀﹐并经适当处理以消除内部残余应力﹐保证高度的尺寸稳定性﹐防止加工后发生变形。加工设备要有极高的运动精度﹐导轨直线性和主轴回转精度要达到0.1微米级﹐微量进给和定位精度要达到0.01微米级。对环境条件要求严格﹐须保持恒温﹑恒湿和空气洁净﹐并采取有效的防振措施。加工系统的系统误差和随机误差都应控制在 0.1微米级或更小。这些条件是靠综合应用精密机械﹑精密测量﹑精密伺服系统和计算器控制等各种先进技术获得的。
超精密加工主要分为超精密切削加工和超精密特种加工。
超精密切削加工 主要有超精密车削﹑镜面磨削和研磨等。在超精密车床上用经过精细研磨的单晶金刚石车刀进行微量车削﹐切削厚度仅1微米左右﹐常用于加工有色金属材料的球面﹑非球面和平面的反射镜等高精度﹑表面高度光洁的零件。例如加工核聚变装置用的直径为800毫米的非球面反射镜﹐最高精度可达0.1微米﹐表面粗糙度为R z0.05微米。
超精密特种加工 当加工精度以纳米﹐甚至最终以原子单位(原子晶格距离为0.1～0.2纳米)为目标时﹐切削加工方法已不能适应﹐需要藉助特种加工的方法﹐即应用化学能﹑电化学能﹑热能或电能等﹐使这些能量超越原子间的结合能﹐从而去除工件表面的部分原子间的附着﹑结合或晶格变形﹐以达到超精密加工的目的。属于这类加工的有机械化学拋光﹑离子溅射和离子注入﹑电子束曝射﹑激光束加工﹑金属蒸镀和分子束外延等。这些方法的特点是对表面层物质去除或添加的量可以作极细微的控制。但是要获得超精密的加工精度﹐仍有赖于精密的加工设备和精确的控制系统﹐并采用超精密掩膜作中介物。例如超大规模集成电路的制版就是采用电子束对掩膜上的光致抗蚀剂(见光刻)进行曝射﹐使光致抗蚀剂的原子在电子撞击下直接聚合(或分解)﹐再用显影剂把聚合过的或未聚合过的部分溶解掉﹐制成掩膜。电子束曝射制版需要采用工作台定位精度高达±0.01微米的超精密加工设备。
超精密加工的精度比传统的精密加工提高了一个以上的数量级﹐除需要采用新的加工方法或新的加工机理之外﹐对工件材质﹐加工设备﹑工具﹑测量和环境条件等都有特殊的要求。工件材质必须极为细致均匀﹐并经适当处理以消除内部残余应力﹐保证高度的尺寸稳定性﹐防止加工后发生变形。加工设备要有极高的运动精度﹐导轨直线性和主轴回转精度要达到0.1微米级﹐微量进给和定位精度要达到0.01微米级。对环境条件要求严格﹐须保持恒温﹑恒湿和空气洁净﹐并采取有效的防振措施。加工系统的系统误差和随机误差都应控制在 0.1微米级或更小。这些条件是靠综合应用精密机械﹑精密测量﹑精密伺服系统和计算器控制等各种先进技术获得的。
超精密加工主要分为超精密切削加工和超精密特种加工。
超精密切削加工 主要有超精密车削﹑镜面磨削和研磨等。在超精密车床上用经过精细研磨的单晶金刚石车刀进行微量车削﹐切削厚度仅1微米左右﹐常用于加工有色金属材料的球面﹑非球面和平面的反射镜等高精度﹑表面高度光洁的零件。例如加工核聚变装置用的直径为800毫米的非球面反射镜﹐最高精度可达0.1微米﹐表面粗糙度为R z0.05微米。
超精密特种加工 当加工精度以纳米﹐甚至最终以原子单位(原子晶格距离为0.1～0.2纳米)为目标时﹐切削加工方法已不能适应﹐需要藉助特种加工的方法﹐即应用化学能﹑电化学能﹑热能或电能等﹐使这些能量超越原子间的结合能﹐从而去除工件表面的部分原子间的附着﹑结合或晶格变形﹐以达到超精密加工的目的。属于这类加工的有机械化学拋光﹑离子溅射和离子注入﹑电子束曝射﹑激光束加工﹑金属蒸镀和分子束外延等。这些方法的特点是对表面层物质去除或添加的量可以作极细微的控制。但是要获得超精密的加工精度﹐仍有赖于精密的加工设备和精确的控制系统﹐并采用超精密掩膜作中介物。例如超大规模集成电路的制版就是采用电子束对掩膜上的光致抗蚀剂(见光刻)进行曝射﹐使光致抗蚀剂的原子在电子撞击下直接聚合(或分解)﹐再用显影剂把聚合过的或未聚合过的部分溶解掉﹐制成掩膜。电子束曝射制版需要采用工作台定位精度高达±0.01微米的超精密加工设备。
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参考词条