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1)  selective etch
选择性刻蚀
1.
Because of its strong selective etching ability, oxygen ions directly decomposed from CH 3OH plays an important role in the sy.
经分析认为,等离子体中因甲醇裂解产生的氧离子及含氧基团对无定形碳具有很强的选择性刻蚀能力,为低温合成纳米碳管时提高其纯度创造了条件。
2)  Etching selectivity
刻蚀选择性
3)  etch selectivity raito
蚀刻选择比,蚀刻选择性
4)  selective dry etching
选择性干法刻蚀
5)  selective wet etching
选择性湿法刻蚀
1.
InP/air-gap distributed Bragg reflector (DBR) with high reflectivity is fabricated by using selective wet etching.
采用选择性湿法刻蚀 ,制备出基于 In P/空气隙的分布布拉格反射镜 ,并将该结构的反射镜引入 RCE光电探测器 。
6)  selective entry field,selective etching
选择蚀刻
补充资料:电化学刻蚀
分子式:
CAS号:

性质:也称电解浸蚀。在一定的电解液中,采用电化学原理选择性地除去某种金属(或半导体)的过程。可外加电压(为电刷镀的逆过程)或不外加电压(化学刻蚀)。影响电化学蚀刻的因素有电场强度和频率、探测器厚度、蚀刻液浓度和径迹倾角等。化学刻蚀法使用较多,例如在印刷电路板的制作中,通过如下反应:Cu→Cu2++2e-(阳极) ;2Fe3++2e-→2Fe2+(阴极)。按预作保护的图样除去绝缘基板上的铜覆盖层。在微电子装置的制作中,对半导体(如硅)选择性地刻蚀是关键步骤。常用的刻蚀剂有CuCl2,FeCl3,H2CrO4,NH4Cl,H2O2-H2SO4等。

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