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1)  ion layer gas reaction
浸渍离子层气相反应
1.
Thin films of CuInS_2 were prepared on glass substrates by ion layer gas reaction method using CH_3CN as solvent, CuCl_2 and InCl_3 as reactants and H_2S as sulfur source.
以CH3CN为溶剂,CuCl2和InCl3为反应物,H2S为硫源,用浸渍离子层气相反应法制备CuInS2薄膜。
2)  ILGAR
离子层气相反应法
1.
Studies on Chalcogenide Semiconductor Thin Films Prepared by Ion Layer Gas Reaction Method (ILGAR);
离子层气相反应法(ILGAR)制备硫属半导体薄膜的研究
3)  gaseous ionic reaction
气相离子反应
4)  arc plasma vapor phase reaction
等离子气相反应
5)  ion molecule reaction
气相分子离子反应
6)  Gas-phase ion-molecular reaction
气相离子分子反应
补充资料:等离子化学气相沉积
分子式:
CAS号:

性质:PCVD  化学气相沉积(CVD)法是制备无机材料,尤其是无机薄膜和涂层的一种重要手段。用等离子辅助CVD,可在较低的温度下沉积,涂层均匀不剥落。

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