1) Plasma ion implantation
等离子体离子注入
1.
A new technique to treat stainless steel based on hybrid plasma ion implantation coupling radio frequency and high voltage(HV) pulses is utilized.
介绍了一种新的等离子体离子注入在不锈钢表面改性上的应用。
2) plasma beam injection
等离子体束注入
4) injected plasma
注入等离子体
6) plasma-based ion implantation
等离子体基离子注入
1.
Composition and structure of TiN film prepared by plasma-based ion implantation;
等离子体基离子注入制备TiN膜的成分结构
补充资料：离子注入（ionimplantation）
离子注入（ionimplantation）
用离子加速器将各种离子注入半导体材料，从而改变半导体材料的电学、光学或其他物理性质的半导体工艺技术，称为离子注入技术。自从20世纪70年代以来离子注入技术在半导体器件制备工艺中获得了广泛应用，是半导体器件工艺的最主要技术之一。
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参考词条