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1)  servo scanning machining
伺服扫描加工
1.
At the same time,analyse the R、C parameters of the RC pulse generator and their effects on the machining efficiency,electrode wear ratio and the surface quality,and validate the feasibility of micro three-dimension structures machining by servo scanning machining technics.
为适应现代加工小型化的需求,在开发微型电火花加工装置的基础上,通过加工微孔、微轴及微三维结构,对加工工艺进行系统研究;分析RC脉冲电源中参数R、C对加工效率、电极损耗比和表面质量的影响;验证电火花伺服扫描加工微三维结构的可行性。
2)  servo scanning
伺服扫描
1.
A servo scanning EDM method is proposed for shaping 3D micro structures,in which electrode wear is compensated on real time by servo control of discharge gap.
以微细孔、微细三维结构的加工为目标,进行了微细孔电火花加工、三维微细结构电火花伺服扫描加工及微细电化学加工技术的研究开发。
3)  scanning machining
扫描加工
4)  servocontrolled scanning interferometer
伺服控制扫描干涉仪
5)  Speed-variable scanning servo system
变速扫描伺服系统
6)  servo profile
伺服描述
补充资料:扫描电子显微镜(见扫描电子显微术)


扫描电子显微镜(见扫描电子显微术)
scanning eleetron mieroseoPe

扫描电子显微镜scanning eleetron mieroseope见扫描电子显微术。
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参考词条