1) Non-evaporable getter pump
非蒸散型吸气剂泵
2) NEG
非蒸散型吸气剂
1.
3×10-7Pa dynamic-pressure vacuum environment,the whole vacuum system comprises many sets of titanium sublimation pumps(TSPs)and non-evaporable getters(NEGs).
3×10-7Pa,要获得这样的超高真空环境,真空系统配置了多台钛升华泵(TSP)和非蒸散型吸气剂(NEG)组件,针对这两种设备的工作参数,研制了一种带有计算机通信接口的复合电源,并在LabVIEW环境下开发了一套相应的控制软件,实现了对TSP和NEG的本地和远程控制。
2.
A novel type of miniaturized compound sputtering-ion-pump(SIP) has been successfully developed and manufactured,in which the non-evaporation getter(NEG),wrapped up with stainless steel mesh,is installed in the narrow space between the iner wall of the pump cavity and the electrodes.
本文介绍了一种非蒸散型吸气剂(NEG)与微型溅射离子泵(SIP)集成构成的微型复合溅射离子泵。
3.
A miniature combination ion pump with non-evaporable getter(NEG) was developed in order to ensure the extreme high reliability and long service life for the closed ultra-high vacuum devices of small size.
为确保小尺寸超高真空密封器件的高可靠和长寿命,开发了一种带非蒸散型吸气剂的微型复合离子泵(Mini-Combination Ion Pumps with NEG)。
5) New nonevaporable getter
新型非蒸散消气剂
补充资料：锆石墨吸气剂
分子式：
CAS号：
性质：一种非蒸散型室温吸气材料。为多孔烧结体，孔隙度40％～50％，比表面积0.4～0.45m2/g。具有活性高、扩散活化能低、室温吸气性好等优点。激活后室温就能快速有效地吸收氧、氮、氢、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、水蒸气等。其中吸氢可逆，通常500℃下吸入，500℃以上放出洁净氢。不吸收氦、氖、氩等惰性气体。吸气剂可多次反复激活再生，使用寿命长。由高纯锆粉和石墨粉经高温高真空烧结制成。用于制造行波管、触发管、铯束管、激光管、X光管、真空开关管等多种电真空管件和器件。
CAS号：
性质：一种非蒸散型室温吸气材料。为多孔烧结体，孔隙度40％～50％，比表面积0.4～0.45m2/g。具有活性高、扩散活化能低、室温吸气性好等优点。激活后室温就能快速有效地吸收氧、氮、氢、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、水蒸气等。其中吸氢可逆，通常500℃下吸入，500℃以上放出洁净氢。不吸收氦、氖、氩等惰性气体。吸气剂可多次反复激活再生，使用寿命长。由高纯锆粉和石墨粉经高温高真空烧结制成。用于制造行波管、触发管、铯束管、激光管、X光管、真空开关管等多种电真空管件和器件。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条