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1)  precision length determination
精密定长
2)  precision length measurement
精密测长
1.
Aiming at the application of precision length measurement,the error of phase-shifting algorithm based on the cosine dependent algoritm by means of double-beam interference is explored,and the precision formula of intensity distribution of multiple-beam interference(multiple reflection and transmission by the optical surface) with the basic principle of interference optics is derived.
针对相移算法中以双光束干涉为基础的余弦依赖算法的算法误差,以菲佐干涉仪精密测长为应用背景进行了研究。
3)  precision positioning
精密定位
1.
The study on control system of 3D precision positioning stage;
三维精密定位工作台的控制系统的研究
2.
A novel precision positioning table based on real-time yaw error compensation
高速精密定位平台的偏摆误差实时补偿
4)  precise position
精密定位
1.
A kind of super precise positioning stage driven by piezoelectric actuator is researched and deigned in this paper.
此工作台在伺服电机驱动的滚珠丝杠进给系统的基础上 ,采用压电陶瓷作为微位移驱动器 ,柔性铰链为导向机构 ,对工作台运动位置自动补偿 ,实现了超精密定位。
2.
So we build the basis of precise position application for the new composite ultrasonic liner micro motor.
从复合材料微观弹性力学的角度 ,提出了新型各向异性材料超声直线微电机的速度控制模型 ,从理论上探讨了驱动控制策略 ,构建了驱动控制系统 ,并分析了实验结果 ,为复合材料超声直线微电机在精密定位系统中的应用奠定了基础 。
5)  precision alignment
精密定位
1.
The device achieved precision displacement measurement and automatic precision alignment using computer controlled m.
在此基础上构建了一套精密位移测量与控制装置,取差动零次激光莫尔信号为控制信号,由微机控制实现高精度位移检测及全自动精密定位。
2.
For the precision alignment system with two-dimension black-white grating, a modeling of the diffrac-tive signals was analysed and made, and the numerical simulation by using Gauss integreation and experimental verification was given.
针对采用二维黑白光栅衍射的精密定位系统,对其衍射信号进行了分析和建模,并采用Gauss积分法对模型进行了仿真和实验验证,结果表明,经双光栅衍射后的摩尔信号变化具有稳定的周期性,其中零次摩尔信号在各级衍射光中光强最强,非常适合用于高精密定位。
6)  precision position
精密定位
1.
Research on precision positioning system of PDP;
等离子体显示器精密定位系统的研究
2.
The development of a high-precision position system design method for robotic multi-DOF manipulator using traveling-wave ultrasonic motor and step motor is put forward.
研制了基于行波超声波电机与步进电机驱动的机器人多自由度机械臂精密定位控制系统。
补充资料:测长干涉仪


测长干涉仪
interferometer for length measurement

  Cechang gansheyi测长干涉仪(interferometer for length~ure-叮峪nt)用于长度精密测量的干涉仪的总称。随着测量对象和测量不确定度的不同,测长干涉仪的结构和类型也各不相同。其基本原理是使被测长度与干涉仪中两光路的光程差相联系,并通过干涉仪的干涉图像或干涉图像的变化对光程差进行测量而得到被测长度,即以十分小的光“波长”为尺子测量长度。它等于对应于被测长度的干涉级次与光半波长之乘积。依测t方法可分为两大类:干涉条纹计数法和小数重合法。干涉条纹计数法采用电子计数技术得出对应于被测长度的干涉级次,不足一条干涉条纹的小数部分则忽略不计;小数重合法则采用几种不同的波长测l干涉级次的小数部分,并计算得到干涉级次的整数部分。干涉仪的结构和测量环境条件对测量结果均有影响,故必须对测t结果进行修正,最后得到被测长度。例如,干涉仪人射光孔的修正,以及空气的压强、温度、湿度对光波长的影响的修正等。(倪育才)
  
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参考词条