1) VCC
可变角膜补偿
1.
GDxVCC Nerve Fiber Analyzer with variable corneal compensation (VCC) mode and enhanced corneal compensation (ECC) mode was used for the RNFL scanning.
眼科常规检查后,用GDxVCC仪强化角膜补偿(ECC)和可变角膜补偿(VCC)测定双眼颞侧、上方、鼻侧、下方、颞侧曲线平均(TSNIT平均)、上方平均、下方平均、TSNIT标准差和神经纤维指数(NFI)5项值。
3) Pour angle compensation
倾角补偿
4) convex corner compensation
凸角补偿
1.
Dimension of convex corner compensation and a newmethod of avoiding corner undercutting in etching of Si;
硅的凸角补偿尺寸及腐蚀中避免削角的新方法
2.
To acquire intact mass structure with better symmetry,various methods of convex corner compensation were studied based on a sort of accelerometer of beam-mass structure.
以一种梁-质量块结构的加速度计为模型,为了在加工过程中,得到完整的质量块结构,使结构具有更好的对称性,对各种凸角补偿方式进行了研究。
3.
Based on new wet etching conditions and a novel convex corner compensation design, a silicon mold with smooth etched surface and perfect convex corner was obtained.
基于一种新的湿法刻蚀条件和新型的凸角补偿结构,以KOH溶液为腐蚀液,对单晶(100)Si材料进行了湿法刻蚀,获得了表面平整和凸角完整的刻蚀结果,制作了用于微模塑工艺的硅基阳模,并成功地用于聚甲基乙烯基硅氧烷微分析芯片的制作上。
6) corner undercutting compensation
削角补偿
补充资料:Anglelapping角度研磨
angle lapping 的目的是为了测量junction的深度,所作的芯片前处理,这种采用光线干涉测量的方法就称之angle lapping。公式为xj=λ/2 nf即junction深度等于入射光波长的一半与干涉条纹数之乘积。但渐渐的随着vlsi组件的缩小,准确度及精密度都无法因应。如srp(spreading resistance prqbing)也是应用angle lapping的方法作前处理,采用的方法是以表面植入浓度与阻值的对应关系求出junction的深度,精确度远超过入射光干涉法。
说明:补充资料仅用于学习参考,请勿用于其它任何用途。
参考词条