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1)  high purity nitrogen
高纯氮气
1.
The high purity nitrogen is one of the most widely used gases.
高纯氮气是应用最广泛的高纯气体之一,它主要用于半导体、电子、冶金、化工、热处理等行业。
2)  pure nitrogen(99.999 9%) ambients
高纯氮气退火
3)  pure nitrogen atmosphere
纯氮气氛
4)  Nitrogen purity
氮气纯度
5)  High purity liquid nitrogen
高纯液氮
6)  high purity nitrogen
高纯氮
1.
Measurement of Oxygen in High Purity Nitrogen by Means of Air Pressure Ionic Mass Spectrum;
用大气压离子质谱法测量高纯氮中的氧
补充资料:高纯氮
分子式: N2 
CAS号:

性质:纯度大于99.999%。无色无臭无味无毒的惰性气体。相对密度ds(21.1℃,空气=1)0.967。气体密度1.153kg/m3(21.1℃,101.3kPa);液体密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。沸点-195.8℃。熔点-209.9℃。氮气纯化方法主要有吸附法、变压吸附法、膜分离法等。在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中,液氢加注系统必须先用高纯氮置换,再用高纯氦置换。

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