2) microflow sensor
微流量传感器
1.
Different pressure microflow sensors based on Lamb waves
Lamb波压差式微流量传感器
2.
This integrated system consists of two passive check microvalves, which are fabricated using bulk silicon micromachining techniques, and one bimetallic actuator with integrated microflow sensors and signal process circuits.
利用铝硅双金属驱动结构制作工艺的特点，在驱动结构上集成制作了微流量传感器和信号处理电路，实现了系统集成。
3) micro flow sensor
微型流量传感器
1.
This is proved by the measurementsof the micro flow sensors made by deep impurities silicon.
用深掺杂方法制成的微型流量传感器特性的测量证明了以上理论 。
4) micro fluid sensor
微流体传感器
5) liquid vortex flow transducer
液体涡流传感器
6) optofluidic or liquid/liquid waveguide sensor
微流体光波导/液体波导传感器
补充资料：流量传感器
测量单位时间内流经管道某截面的流体体积或质量的传感器。通常把附带有信号处理、显示和记录部分的流量传感器称为流量测量仪表或流量计。见差压式流量计、涡轮流量计、电磁流量计、超声流量计、激光流量计、容积流量计、质量流量计、相关流量计。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条