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1)  electron microprobe analyzer
电子探针分析器
2)  electron probe microanalyser
电子探针显微分析器
3)  electron probe X-ray analyzer
电子探针X射线分析器
4)  electron probe microanalyzer
电子探针微量分析器
5)  electron microprobe analysis
电子探针分析
1.
The paper puts forward the definite matching correlation dimension for qualitative geological variables in time and space series, the estimate method of fractal dimension and the principle of distinguishing fractal body, taking the electron microprobe analysis data of higher density and longer series on core in Bainiu chang Ag polymetallic ore deposit as an example.
以白牛厂银多金属矿床钻孔岩心标本的高密度长序列电子探针分析数据为例,提出了定性地质时空序列变量匹配关联维数定义和分维数估计方法及分形体识别原则。
6)  EPMA
电子探针分析
1.
A linear regression method based on the data of electroprobe microanalysis(EPMA) and chemical analysis was proposed for the determination of crystal phase compositions in glass ceramics.
提出一种非X射线衍射(X-ray diffraction,XRD)法,仅根据电子探针分析数据和微晶玻璃的化学分析数据,采用回归分析方法确定微晶玻璃材料各物相尤其是玻璃相的物质质量分数。
补充资料:电子探针分析
      以聚焦的高速电子来激发出试样表面组成元素的特征X射线,对微区成分进行定性或定量分析的一种材料物理试验,又称电子探针X射线显微分析。电子探针分析的原理是:以动能为10~30千电子伏的细聚焦电子束轰击试样表面,击出表面组成元素的原子内层电子,使原子电离,此时外层电子迅速填补空位而释放能量,从而产生特征X射线。
  
  用波长色散谱仪(或能量色散谱仪)和检测计数系统,测量特征X射线的波长(或能量)和强度,即可鉴别元素的种类和浓度。
  
  在不损耗试样的情况下,电子探针通常能分析直径和深度不小于1微米范围内、原子序数4以上的所有元素;但是对原子序数小于12的元素,其灵敏度较差。常规分析的典型检测相对灵敏度为万分之一,在有些情况下可达十万分之一。检测的绝对灵敏度因元素而异,一般为10-14~10-16克。用这种方法可以方便地进行点、线、面上的元素分析,并获得元素分布的图象。对原子序数高于10、浓度高于10%的元素,定量分析的相对精度优于±2%。
  
  电子探针仪是 X射线光谱学与电子光学技术相结合而产生的。1948年法国的R.卡斯坦制造了第一台电子探针仪。1958年法国首先制造出商品仪器。电子探针仪与扫描电子显微镜在结构上有许多共同处。70年代以来生产的电子探针仪上一般都带有扫描电子显微镜功能,有的还附加另一些附件,使之除作微区成分分析外,还能观察和研究微观形貌、晶体结构等。
  
  电子探针仪(图1)主要包括:探针形成系统 (电子枪、加速和聚焦部件等)、X射线信号检测系统和显示、记录系统、样品室、高压电源和扫描系统以及真空系统。
  
  电子探针的最早应用领域是金属学。对合金中各组成相、夹杂物等可作定性和定量分析,直观而方便,还能较准确地测定元素的扩散和偏析情况。此外,它还可用于研究金属材料的氧化和腐蚀问题,测定薄膜、渗层或镀层的厚度和成分等,是机械构件失效分析、生产工艺的选择、特殊用材的剖析等的重要手段。图2为镁合金中稀土氧化物在晶界析出的电子探针分析照片。
  
  参考书目
   S.J.B.里德著,林天辉、章靖国译:《电子探针显微分析》,上海科学技术出版社,上海,1980。(S.J.B.Reed,Electron Microprobe Analysis,Cambridge Univ.Pr.,London,1975.)

  

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