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1)  flat-topped surface
平坦面
2)  smooth surface
平坦表面
3)  low-relief surface
地势平坦面
4)  surface planarization
表面平坦化
1.
Using thick photoresist as mask, combiningreactive ion etching and wet etching, the surface planarization for isolation structure is realized.
为克服目前隔离结构平坦化技术在工艺控制、平坦化质量等方面存在的问题,提出了一种新的隔离结构表面平坦化工艺,即利用稠光刻胶做掩膜,结合反应离子刻蚀技术与湿法腐蚀技术,实现不同厚度隔离结构的平坦化。
5)  land [英][lænd]  [美][lænd]
合模平坦面
6)  smooth level surface
平坦水平表面
补充资料:平坦
1.没有高低凹凸。亦用于比喻,犹言没有曲折,很顺当。 2.公平;直率。
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参考词条