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1)  wafer stage
晶圆载物台
2)  wafer stage chuck
晶圆载物吸盘
3)  truncated cone loading
圆台式加载
4)  wafer tray
晶圆承载器
5)  object support
载物平台
6)  object stage
载物台
补充资料:83式152毫米履带式自行加榴炮

83式152毫米履带式自行加榴炮是中国陆军现役装备的大口径自行压制兵器。该炮曾在1984年以来的数次国庆阅兵中“抛头露面”,备受世界各国关注。其战斗全重29.5吨,最大射程17.2千米,配备杀伤爆破榴弹和发烟弹,它也可发射激光制导炮弹。乘员5人。车内装有半自动装填系统,最大射速为5发/分钟。值得一提的是,83式152毫米自行加榴炮采用的底盘是专门设计的,其特点是地面附着力大,射击稳定性好。目前,该底盘已成为中国陆军自行火炮的通用底盘。

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