1) moving mirror laser interferometer
动镜式激光干涉仪
2) mirror interferometer
镜式干涉仪
3) laser interferometer
激光干涉仪
1.
Demodulate modulation signal of laser interferometer in time domain;
一种时域解调激光干涉仪调制信号的方法
2.
Comparison of the measurement methods between renishaw and doppler laser interferometer;
雷尼绍与多普勒激光干涉仪测量方法比较
3.
Application of laser interferometer in the displacement sensor auto-testing;
激光干涉仪在位移传感器自动检定中的应用
4) laser interferometers
激光干涉仪
1.
In this paper, the author discusses the relation between laser interferometers layout and the target tracking accuracy in 2-dimensional space, when laser interferometers are used as sensors to track target.
主要讨论了在二维空间内,利用激光干涉仪对目标进行跟踪滤波时,干涉仪的布局对跟踪精度的影响。
5) Laser Angular Interferometer(LAI)
激光角度干涉仪
1.
Laser Angular Interferometer(LAI) is a high-precision measuring instrument.
激光角度干涉仪是高精度的角度测量仪器,但是其测量精度受到诸多因素的影响。
6) dual-frequency laser interferometer
双频激光干涉仪
1.
The nonlinearity error of the dual-frequency laser interferometer with two longitudinal modes and special subsequent electrical signal processing system was studied.
对具有特殊后续电信号处理系统的双纵模双频激光干涉仪的非线性误差进行了研究。
2.
A dual-frequency laser interferometer with moderate frequency differences was made using the Zeeman laser with frequency differences of about 7 MHz as the light source to improve measurements at higher speeds.
Zeeman双折射双频激光器能够输出3~40 MHz频差的双频激光,可用作高测速双频激光干涉仪的光源。
3.
The working principle of the dual-frequency laser interferometer which produced by Renishaw company was analyzed and the dual-frequency laser interferometer was used aiming at error parameter identification for the grading machine.
在对SMART-CNC磨床几何误差建模及对某双频激光干涉仪工作原理分析的基础上,针对该磨床的误差参数辨识进行了实际测量中的应用,并以检测结果作为数控机床误差补偿的前提进行几何误差补偿。
补充资料：波面干涉仪
用以检测光学元件的面形、光学镜头的波面像差以及光学材料均匀性等的一种精密仪器。其测量精度一般为λ/10～λ/100, λ为检测用光源的平均波长。常用的波面干涉仪为泰曼干涉仪和斐索干涉仪。
泰曼干涉仪由两个准直透镜、分束器、标准平板以及标准球面镜所组成。单色光经小孔、光源准直透镜后被分束器分解成参考光束和检测光束。二者分别由标准平面和检测系统自准返回后，再经分束器，通过观测准直透镜重合，形成等厚干涉条纹，如图1所示。根据条纹的形状来判断被测件的光学质量。
用泰曼干涉仪检测平板或棱镜的表面面形及其均匀性，和检测无限或有限共轭距镜头的波面像差，只需在检测光路中，用一标准的平面或球面反射镜，或再附加一负透镜组，以形成平面的自准检测光束即可，分别如图1a、图1b、图1c、图1d、图1e所示。
斐索干涉仪有平面的和球面的两种，前者由分束器、准直物镜和标准平面所组成，如图2b；后者由分束器、有限共轭距物镜和标准球面所组成，如图2b。单色光束在标准平面或标准球面上，部分反射为参考光束；部分透射并通过被测件的，为检测光束。检测光束自准返回，与参考光束重合，形成等厚干涉条纹。
用斐索平面干涉仪可以检测平板或棱镜的表面面形及其均匀性，如图2a、图2b、图2c所示。用斐索球面干涉仪可以检测球面面形和其曲率半径，后者的测量精度约 1??m；也可以检测无限、有限共轭距镜头的波面像差，如图2d所示。
除了上述两种常用的干涉仪外，还有横向、径向剪切干涉仪，这种干涉仪没有参考波面。横向剪切干涉仪把被测光束分解成两个相同的，但相互横移的相干光束。径向剪切干涉仪则是把被测光束分解成波面面形相似，但横截面大小不相同的两相干光束。干涉出现在两相干光束的重叠区域内。两者分别如图3、图4所示。该两种干涉仪有多种多样的形式，如平板式、棱镜式、透镜式、光栅式等。横向剪切干涉仪不能直接测得波面像差；径向剪切干涉仪系统误差稍大。虽然这两种干涉仪易于加工，但仍未能像泰曼干涉仪那样被广泛使用。
干涉图的分析，可用目视或照相，也可以在干涉仪上,配备光电探测器件和微处理机及终端系统,扫描、采样和分析干涉花样。称这种干涉仪为数字干涉仪。
泰曼干涉仪由两个准直透镜、分束器、标准平板以及标准球面镜所组成。单色光经小孔、光源准直透镜后被分束器分解成参考光束和检测光束。二者分别由标准平面和检测系统自准返回后，再经分束器，通过观测准直透镜重合，形成等厚干涉条纹，如图1所示。根据条纹的形状来判断被测件的光学质量。
用泰曼干涉仪检测平板或棱镜的表面面形及其均匀性，和检测无限或有限共轭距镜头的波面像差，只需在检测光路中，用一标准的平面或球面反射镜，或再附加一负透镜组，以形成平面的自准检测光束即可，分别如图1a、图1b、图1c、图1d、图1e所示。
斐索干涉仪有平面的和球面的两种，前者由分束器、准直物镜和标准平面所组成，如图2b；后者由分束器、有限共轭距物镜和标准球面所组成，如图2b。单色光束在标准平面或标准球面上，部分反射为参考光束；部分透射并通过被测件的，为检测光束。检测光束自准返回，与参考光束重合，形成等厚干涉条纹。
用斐索平面干涉仪可以检测平板或棱镜的表面面形及其均匀性，如图2a、图2b、图2c所示。用斐索球面干涉仪可以检测球面面形和其曲率半径，后者的测量精度约 1??m；也可以检测无限、有限共轭距镜头的波面像差，如图2d所示。
除了上述两种常用的干涉仪外，还有横向、径向剪切干涉仪，这种干涉仪没有参考波面。横向剪切干涉仪把被测光束分解成两个相同的，但相互横移的相干光束。径向剪切干涉仪则是把被测光束分解成波面面形相似，但横截面大小不相同的两相干光束。干涉出现在两相干光束的重叠区域内。两者分别如图3、图4所示。该两种干涉仪有多种多样的形式，如平板式、棱镜式、透镜式、光栅式等。横向剪切干涉仪不能直接测得波面像差；径向剪切干涉仪系统误差稍大。虽然这两种干涉仪易于加工，但仍未能像泰曼干涉仪那样被广泛使用。
干涉图的分析，可用目视或照相，也可以在干涉仪上,配备光电探测器件和微处理机及终端系统,扫描、采样和分析干涉花样。称这种干涉仪为数字干涉仪。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
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