1) azimuth
[英]['æzɪməθ] [美]['æzəməθ]
(1)方位角,方位(2)(地)平径(度)
2) azimuthal
[英][,æzi'mju:θəl] [美][,æzɪ'mjuθḷ]
(1)方位角的,方位的(2)水平的
3) angle orientation
角度方位
4) attitude
[英]['ætɪtju:d] [美]['ætə'tud]
(1)势态(2)空间方位角
5) direction
[英][də'rekʃn] [美][də'rɛkʃən]
(1)方向(2)方位
6) grid azimuth
平面方位角
补充资料:Anglelapping角度研磨
angle lapping 的目的是为了测量junction的深度,所作的芯片前处理,这种采用光线干涉测量的方法就称之angle lapping。公式为xj=λ/2 nf即junction深度等于入射光波长的一半与干涉条纹数之乘积。但渐渐的随着vlsi组件的缩小,准确度及精密度都无法因应。如srp(spreading resistance prqbing)也是应用angle lapping的方法作前处理,采用的方法是以表面植入浓度与阻值的对应关系求出junction的深度,精确度远超过入射光干涉法。
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参考词条