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1)  solid vaporizer
固体蒸发源
2)  solid-state sulfurzation
固态源蒸发硫化
3)  solid vaporization
固相蒸发
4)  evaporation source
蒸发源
5)  vapor source
蒸发器蒸汽源
6)  evaporation volume
蒸发体积
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