1) ratio of crucible shaft driving speed
坩埚轴驱动速度比率
2) crucible lift rata
坩埚升降速率
3) crucible rotation rate
坩埚旋转速率
4) crucible shaft
坩埚轴
5) vaporizer temperature
坩埚温度
1.
The operation principle of the ion source circuits in the Eaton NV10-80 high current implanter is described in detail, including ARC voltage, filament current, gas pressure regulation and vaporizer temperature control.
本文较为详细地分析了EatonNV10 - 80大束流离子注入机离子源电路工作原理 ,包括ARC电压、灯丝电流、气源压力调节及固体源坩埚温度控制的电路工作原理 ,同时 ,又针对常见离子源故障解决作了剖析。
6) job pot
活动坩埚
补充资料：铂电阻温度表(见电阻温度表)
铂电阻温度表(见电阻温度表)
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说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条