1) excimer laser stepper
准分子雷射步进机
2) excimer lasers
准分子雷射
3) other excimer laser processing equipment
其他准分子雷射加工机
4) excimer laser procossing equipment for micromaching
准分子雷射加工机(微机电)
5) excimer laser processing equipment for chemical vapor deposition (CVD)
准分子雷
6) excimer laser medical systems
准分子雷射医疗系统
补充资料：准分子
准分子之所以被称为准分子是因为它不是稳定的分子，是在激光混合气体受到外来能量的激光所引起的一系列物理及化学反应中曾经形成但转瞬即逝的分子，其寿命仅为几十毫微秒，准分子激光是一种脉冲激光，因谐振腔内充入不同的稀有气体和卤素气体的混合物而有不同波长的激光产生。波长范围为157－353nm。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条