本文从微型电子机械系统领域中应用广泛的微小型柔性机构的设计出发，探索性地研究了利用连续体结构拓扑优化技术进行柔性机构设计的问题，分析了拓扑优化中的数值不稳定现象的原因以及相应的解决策略，建立了结构刚性拓扑优化模型和柔性机构拓扑优化的多目标模型，最后，设计研制了用于夹持毛细玻璃管的压电驱动式微夹钳，并对其进行了实验测试。