补充资料：粒子计数器

分子式：
CAS号：

性质：粒子计数可采用激光粒子计数器或凝聚核粒子计数器。He-Ne激光粒子计数器，可分析气体中0.1μm粒径的颗粒杂质；Ar-Kr激光粒子计数器可分析0.05μm粒径颗粒杂质；目前已有可检测超高纯气中0.005μm的粒子计数器。光电尘粒计数器是一种利用光的散射原理进行尘粒计数的仪器。一定流量的含尘气体通过一束强光，使粒子发射出散射光，经过聚光透镜投射到光电倍增管上，将光脉冲变为电脉冲，由脉冲数求得颗粒数。根据粒子散射光的强度与粒径的函数关系得出粒子直径。粒子计数器是高纯或超高纯供气系统中必不可缺少的仪器。价格较昂贵。

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