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1)  X-ray energy dispersive analyzer
X光能源扩散分析仪
2)  X-ray energy dispersive analyzer
X光能扩散分析仪
3)  small-sized energy dispersion X-ray fluorescence analyzer
小能散X光荧光分析仪
4)  energy dispersive X-ray analyser
能量扩散式X射线分析仪
5)  EDXFMI system
能量色散现场X 荧光分析仪
6)  energy dispersive X-ray analyzer
能量色散X射线分析仪
补充资料:光电子能谱分析


光电子能谱分析
photoelectron spectroscopy analysis

光电子能谱分析photoeleetron speetros。opyanalysis用单色光照射试样表面发射光电子,根据光电子谱进行物理化学分析的方法。简称PES。最常用的单色光源是软X射线和紫外光,相应的分别称为X射线光电谱(简称XPS)和紫外光电子谱(简称UPS)。 原理当一束一定能量的单色辐射照射金属表面时,会有电子从表面逸出,这就是光电效应。其过程是入射光子与被照射原子相互作用,单个光子把全部能量转移给原子中某个能级上的一个受束缚的电子,这个电子得到的能量一部分用于克服能级的束缚能,余下的部分成为该电子的动能,由试样表面发射出去即为光电子。这个过程可用爱因斯坦关系表述 凡二h。一凡式中h。为入射光子的能量,凡为光电子的动能,瓦为发射这个光电子的能级的结合能。对于导体,能量是以费米能级为参照基准,即费米能级定为能量的零点。对于气体,则以费米能级为能量的零点。与用电子或离子激发相比,光子一次即把全部能量转给受激发的电子,产生的光电子有确定的能量。由于功函数的影响,爱因斯坦关系还需加上一项,即凡二h。一凡一仇p这是光子谱最基本的公式。叽p是电子能量分析器入口狭缝材料的功函数,称为谱仪功函数,与试样无关,可以看作常数。用已知能量的辐射激发,h。是已知的。测量光电子的动能凡,就可得到结合能几。用于UPS的紫外光,因能量较低、只能激发电离能较小的价带电子,但是光源谱线的自然线宽很窄,能给出很高的能量分辨。用于XPS的软X射线能量较高,不仅能激发价带电子,也能激发原子深层能级的电子。UPS主要用于研究固体或分子的价带电子能谱,XPS则主要用于研究原子内层能级的电子谱。在形成化合物时,内层能级相对变化较小,每种元素都有其特有的光电子谱线。根据谱线对应的结合能,很容易认定是来自什么元素。根据谱线的强度也可对元素进行定量分析。XPS又称化学分析用电子能谱术,简称ESCA。在光电子谱上每条谱线都由产生该谱线的电子能级的记号标记。对于分子价带的光子谱则用相应的分子轨道符号标记。光电子协能在巧一1500 eV范围之内,其逸出深度约为2nm。这表明只有表面Znnn以内产生的光电子才能从试样表面发射出来而没有明显的能量损失,更深处产生的光电子则不能发射出来。分析的信息是来自表面的极表层,因此这是一种表面灵敏的分析方法。 光电子谱仪的原理构造如图所示。光源产生所需的辐射,使用可不加单色器或滤光片,只是在X光出口处加简单的滤片,滤掉部分长波辐射和散射电子。如果要求更高的能量分辨,则需加单色器把X光单色化或加滤光片使紫外光更加单色化。
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