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1)  spot definition
光斑清晰度
2)  spot definition
斑清晰度
3)  spot definition
光点尺寸;光斑清晰度
4)  lithographic resolution
光刻清晰度
5)  optical lithographic resolution
光蚀刻清晰度
6)  photolithographic resolution
光刻蚀清晰度
补充资料:光斑
光斑
faculae
    日面上用白光看到的明亮区域,位于太阳光球的上层。其形状不规则,有明亮的纤维状结构。尺度在几千千米到1万千米之间。光斑通常在日面边缘才能清楚看到,多数与黑子相伴,寿命比黑子长。它的数目和总面积与黑子一样有11年的周期变化,和黑子不同的是光斑不仅出现在赤道区也出现在极区。光斑的温度比光球高,深层处的温度比光球约高100度,表面处则比光球约高2000度。与周围光球相比,光斑的亮度约大10%,压力约为光球的10倍。光斑的磁场强度约百分之几特斯拉。
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