1) polarimetric stress sensor
偏振型应力传感器
2) polarization sensor
偏振传感器
3) high pressure polarimetric sensor
高压偏振型传感器
4) polarimetric sensor
偏振式传感器
6) Resonance pressure sensor
谐振型压力传感器
1.
The research of resonance pressure sensor technology has been done by used silicon/silicon bonding, grinding and IC process, the compatible technology problems of three- dimension bulk manufacturing and planar IC process have been resolved.
文章利用硅/硅键合、减薄抛光和IC工艺技术,开展硅基谐振型压力传感器技术研究,解决了三维体加工与IC工艺兼容的关键技术问题,成功地研制出一种硅基谐振型压力传感器样品,在常压下测试其Q值达到400,进一步参数测试还在进行中。
补充资料：偏振
横波的振动矢量(其方向垂直于波的传播方向)具有某一特定方向的现象。纵波的振动矢量方向沿着波的传播方向，所以不可能有偏振现象。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条