1) lamellar grating interferometer
层状光栅干涉仪
2) spherical lamellar grating interferometer
球形层状光栅干涉仪
3) grating interferometer
光栅干涉仪
1.
Since both the measuring range and the resolution of a traditional grating interferometer were difficult to be improved simultaneously, a grating interferometry based on a single long metrology grating was presented.
针对传统光栅干涉仪中测量范围和分辨率难以同时提高的问题,提出利用单根大长度、低线数光栅实现大量程、高分辨率位移测量的方法。
2.
Through calibration,nano-repeatability error of grating interferometer mea.
提出了一种新型的激光衍射光栅干涉仪测量系统,以光栅衍射原理和偏振光学为理论基础,配合正交信号的解相位细分原理,使得该系统可以达到纳米级分辨率。
3.
The principle and the method for producing concave gratings through incoherently illuminated grating interferometers are presented.
本文给出利用非相干照明光栅干涉仪制造凹面衍射光栅的基本原理和方法,并报告初步实验结果。
4) double grating interferometer
双光栅干涉仪
1.
Study on double grating interferometer digital displacement measuring sensor;
双光栅干涉仪数字式位移传感器的研究
5) Cross-grating interferometer
正交光栅干涉仪
补充资料：垂直对称式光栅单色仪装置
分子式：
CAS号：
性质：又称垂直对称式光栅单色仪装置（vertical symmetrical grating monochromator mounting）。一种平面光栅装置法见图。入射狭缝、凹面反射镜、光栅和出射狭缝上下对称地排布于仪器的垂直截面内。它利用一块球面反射镜代替准直镜和暗箱物镜。光束从入射狭缝（S1）投射到球面反射镜（M）的下方，准直后以平行光束射向光栅（G），经色散再投射到球面反射镜的上方，聚焦于出射狭缝（S2）。它体积小、结构简单，像散小、色散小及分辨率好。只要转动光栅就可得到不同的波段。
CAS号：
性质：又称垂直对称式光栅单色仪装置（vertical symmetrical grating monochromator mounting）。一种平面光栅装置法见图。入射狭缝、凹面反射镜、光栅和出射狭缝上下对称地排布于仪器的垂直截面内。它利用一块球面反射镜代替准直镜和暗箱物镜。光束从入射狭缝（S1）投射到球面反射镜（M）的下方，准直后以平行光束射向光栅（G），经色散再投射到球面反射镜的上方，聚焦于出射狭缝（S2）。它体积小、结构简单，像散小、色散小及分辨率好。只要转动光栅就可得到不同的波段。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条