1) high purity arsenic
高纯砷
2) high pure arsine
高纯砷烷
3) high-purity trimethylarsenic
高纯三甲基砷
4) high-purity triethylarsenic
高纯三乙基砷
5) high purity arsenic trifluoride
高纯三氟化砷
6) The Synthesis of High Purity Arsine
高纯砷烷的合成
补充资料：高纯砷烷
分子式：AsH3
CAS号：
性质：纯度99.995％。在常温常压下有大蒜气味，为剧毒可燃气体。在空气中易燃烧并发生爆炸。一般由As与Zn合成生成As2Zn3再与H2SO4反应生成ZnSO4和AsH3，再经几步纯化、液化而得。在半导体工业中用于外延，n型掺杂、扩散和离子注入工艺，以及磷砷化镓薄膜的生产。
CAS号：
性质：纯度99.995％。在常温常压下有大蒜气味，为剧毒可燃气体。在空气中易燃烧并发生爆炸。一般由As与Zn合成生成As2Zn3再与H2SO4反应生成ZnSO4和AsH3，再经几步纯化、液化而得。在半导体工业中用于外延，n型掺杂、扩散和离子注入工艺，以及磷砷化镓薄膜的生产。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条