1) high pressure polarimetric sensor
高压偏振型传感器
2) polarization sensor
偏振传感器
3) polarimetric stress sensor
偏振型应力传感器
4) Resonance pressure sensor
谐振型压力传感器
1.
The research of resonance pressure sensor technology has been done by used silicon/silicon bonding, grinding and IC process, the compatible technology problems of three- dimension bulk manufacturing and planar IC process have been resolved.
文章利用硅/硅键合、减薄抛光和IC工艺技术,开展硅基谐振型压力传感器技术研究,解决了三维体加工与IC工艺兼容的关键技术问题,成功地研制出一种硅基谐振型压力传感器样品,在常压下测试其Q值达到400,进一步参数测试还在进行中。
5) polarimetric sensor
偏振式传感器
补充资料：谐振式压力传感器
利用谐振元件把被测压力转换成频率信号的压力传感器。它是谐振式传感器的重要应用方面，主要有振弦式压力传感器（见振弦式传感器）、振筒式压力传感器（见振筒式传感器）、振膜式压力传感器（见振膜式传感器）和石英晶体谐振式压力传感器（见石英晶体谐振式传感器）。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条