补充资料：连续气体检测系统

分子式：
CAS号：

性质：分析仪器能保持连续工作和在循环基线上以不超过30min的周期实行采样的气体分析系统。常用于微量氧、水、烃类(是半导体工艺常见的有害杂质)的连续检测。

说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。