1) gyro pickoff angle
陀螺传感角度
2) vibratory rate gyroscope
振动角速度传感器;振动角速度陀螺仪
3) angle gyro
角度陀螺
4) angular rate gyroscope
角速度陀螺
1.
Gas pendulum accelerometer and laminar jet angular rate gyroscope
气体摆式加速度计与射流角速度陀螺
5) directional gyro pick-up ; directional gyroscope
陀螺航向传感器
6) free gyro sensor
自由陀螺传感器
补充资料：Anglelapping角度研磨
angle lapping 的目的是为了测量junction的深度，所作的芯片前处理，这种采用光线干涉测量的方法就称之angle lapping。公式为xj=λ/2 nf即junction深度等于入射光波长的一半与干涉条纹数之乘积。但渐渐的随着vlsi组件的缩小，准确度及精密度都无法因应。如srp(spreading resistance prqbing)也是应用angle lapping的方法作前处理，采用的方法是以表面植入浓度与阻值的对应关系求出junction的深度，精确度远超过入射光干涉法。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条