1) oil immersed apparatus
油浸装置
3) device of impregnation
浸渗装置
4) immersion device
浸没装置
1.
Our study group has been engaging in immersion device for several years and finds the research of the dynamic edition of Immersion Unit requiring steady and open experimenting environment to implementing simulation of the lithography and flexible compilation of the lithography routine.
本课题组近年来开展对浸没装置的研究工作，在研究的过程中，发现动态浸没单元的研究需要平稳、开放的实验环境，来完成对光刻的模拟和路径的柔性编制。
5) soak device
浸水装置
6) dip-squeeze system
浸轧装置
补充资料：封口装置——滚纹装置
封口装置——滚纹装置     | ||
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参考词条