1) self aligned integraed circuit
自对准集成电路
2) artoregistration
自对位,自准(集成电路工艺用)
3) self checking integrated circuit
自检集成电路
4) Aligning circuit
对准电路
5) ic benchmark
集成电路参考标准
6) standard scale integrated circuit
标准规模集成电路
补充资料:Alignment对准
1. 定义:利用芯片上的对准键,一般用十字键和光罩上的对准键合对为之。2. 目的:在ic的制造过程中,必须经过6~10次左右的对准、曝光来定义电路图案,对准就是要将层层图案精确地定义显像在芯片上面。3. 方法:a.人眼对准b.用光、电组合代替人眼,即机械式对准。
说明:补充资料仅用于学习参考,请勿用于其它任何用途。
参考词条