1) self aligned integraed circuit
自对准集成电路
2) artoregistration
自对位，自准(集成电路工艺用)
3) self checking integrated circuit
自检集成电路
4) Aligning circuit
对准电路
5) ic benchmark
集成电路参考标准
6) standard scale integrated circuit
标准规模集成电路
补充资料：Alignment对准
1. 定义：利用芯片上的对准键，一般用十字键和光罩上的对准键合对为之。2. 目的：在ic的制造过程中，必须经过6~10次左右的对准、曝光来定义电路图案，对准就是要将层层图案精确地定义显像在芯片上面。3. 方法：a.人眼对准b.用光、电组合代替人眼，即机械式对准。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条