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1)  raster scan electron beam system
光栅扫描电子束光刻系统
例句>>
2)  raster scan electron beam lithography
光栅扫描电子束光刻
例句>>
3)  scanning electron-beamlithography
扫描电子束光刻
例句>>
4)  vector scan electron beam lithography
矢量扫描电子束光刻
例句>>
5)  write electron beam lithography
扫描式电子束光刻
6)  electronic raster scanner
电子光栅扫描器
补充资料：扫描电子显微镜(见扫描电子显微术)


扫描电子显微镜(见扫描电子显微术)
scanning eleetron mieroseoPe

扫描电子显微镜scanning eleetron mieroseope见扫描电子显微术。
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