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1)  photoresist edge build up
硅片边缘上光刻胶的积累
例句>>
2)  frill [英][frɪl]  [美][frɪl]
有皱摺边缘的胶片
3)  wafer inspection station
硅片光刻检验台
4)  SOI wafers
绝缘体上硅晶片
5)  insulator,silicon-on- (SOI)
硅片上绝缘体
6)  silicon-on-insulator (SOI)
绝缘体上硅芯片
补充资料：皱皱巴巴
1.见"皱巴巴"。
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参考词条