补充资料：掩模版保护膜

分子式：
CAS号：

性质：一种很薄的光学透明膜，一般由硝化纤维组成。将该透明膜黏附在框架上，由框架来支承，并黏附在光掩模版(或光掩模中间板)上。它的目的是密封，防止沾污物，减少由曝光系统图像平面中的污染而引起的光刻缺陷。

说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。