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1)  axial illumination
轴上照明
2)  axial illumination method
轴上照明法
3)  off-axis illumination
离轴照明
1.
Vectorial Hopkins formulation depending on angles of off-axis illumination;
离轴照明下依赖于入射角度的矢量霍普金斯公式
2.
Process window improvement is presented due to off-axis illumination(OAI) and phase-shifting mask(PSM) for 193 nm immersion lithography at 65 nm node.
研究了交替型相移掩模及离轴照明对65nm分辨率ArF浸没式光刻的影响。
3.
By using software for lithography simulation,the simulation results of lines with different width and pitch before and after adding SRAF are compared with that without off-axis illumination and sub-resolution assistance feature.
讨论了亚波长光刻条件下的离轴照明和次分辨率辅助图形两种分辨率的增强技术,分析了两种技术的原理,利用光刻模拟软件,针对不同线宽的稀疏线条,对添加次分辨率辅助图形前后的光刻仿真结果进行了对比。
4)  off-axis illumination
旁轴照明
5)  top lighting
上部照明
6)  up ligthing
向上照明
补充资料:MasterCAM8.0在四轴、五轴铣床加工中的应用与技巧

MasterCAM8.0新增加了多轴加工模块,但在实际加工应用中数控机床的控制器是不同的,在后置处理时,如果在MasterCAM8.0提供的后置处理文件夹Posts中找不到适合数控机床控制器的后置处理文件,或者经过编辑某通用后置处理文件后,仍不能得到与数控机床控制器相适应的后置处理文件,那么就无法将多轴加工模块得到的NCI文件转化成实际加工中可用的NC程序。
  笔者在工作实践中,通过适当的转化使某些常用、典型的四轴、五轴加工在MasterCAM8.0上得以实现,并且成功后置处理成适合加工实际的四轴、五轴数控铣床控制器格式的NC程序。
  一、四轴加工的应用
  卫生巾切刀成型辊的数控加工主要是通过用平铣刀和锥度成型刀在XK-715M机床(带旋转轴的三坐标数控机床)上实现的。旋转轴上夹持的切刀成型辊相当于第四轴——A轴,刀具在圆柱体上走空间曲线,就得到刀刃的型面。
  那么,如何建出这条卷在圆柱体上的空间曲线呢?
  首先,在MasterCAM8.0中,根据切刀理论刃口展开图画出不同刀具的中心轨迹展开图,这是二维曲线。
  然后,利用主菜单的转换→卷筒→串连,用串连的方式选取刀具轨迹曲线→然后设定卷筒直径、旋转轴X及曲线放置在圆柱体上的位置→确认后再作出与卷筒直径同样大小的圆柱曲面,作为4轴曲线加工的导动曲面,将空间曲线以投影方式投到圆柱面上进行加工。
  虽然同样是FANUC系统,但XK-715M机床和加工中心控制器的所使用的格式稍有区别,所以在用MasterCAM后处理产生NC程序之前需修改后置处理文件MPFAN.PST。


  方法如下:进入文件→编辑→*.PST→找到系统默认的MPFAN.PST文件,先作备份,如另存为MPFAN-1.PST文件,然后打开,找到下面清单中的变量rot_ccw_pos : 1,将其改为rot_ccw_pos : 0,并存盘。
  # Rotary Axis Settings
  # --------------------------
  vmc   : 1   #0 = Horizontal Machine, 1 = Vertical Mill
  rot_on_x : 1   #Default Rotary Axis Orientation, See ques. 164. #0 = Off, 1 = About X, 2 = About Y, 3 = About Z
  rot_ccw_pos : 1   #Axis signed dir, 0 = CW positive, 1 = CCW positive
  之后,进入“NC管理”菜单→更改后置处理文件→选中MPFAN-1.PST文件,再对NCI文件进行后置处理,产生符合XK-715M机床的NC格式。
  二、 五轴加工的应用
  以在FIDIA系统的T20上加工双角度叉耳内外形为例,说明用MasterCAM8.0实现T20上带固定角度的五轴加工。

说明:补充资料仅用于学习参考,请勿用于其它任何用途。
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