1) centerless grinding
无中心研磨
2) centreless lapping
无心研磨法
3) centerless lapping machine
无心研磨机
4) centre-hole lapping machine
中心孔研磨机
5) in-feed centerless grinding
进轮无中心轮磨
6) centrifugal grinding
离心研磨
1.
Influence of abrasive fluid characteristics on polishing results in centrifugal grinding;
离心研磨过程中物料运动特征对加工效果的影响
补充资料：Anglelapping角度研磨
angle lapping 的目的是为了测量junction的深度，所作的芯片前处理，这种采用光线干涉测量的方法就称之angle lapping。公式为xj=λ/2 nf即junction深度等于入射光波长的一半与干涉条纹数之乘积。但渐渐的随着vlsi组件的缩小，准确度及精密度都无法因应。如srp(spreading resistance prqbing)也是应用angle lapping的方法作前处理，采用的方法是以表面植入浓度与阻值的对应关系求出junction的深度，精确度远超过入射光干涉法。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条