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补充资料:负片型感光树脂
分子式:
CAS号:

性质:指在光刻过程中光照部分的聚合物的分子量加大,溶解度下降,使受光树脂在显影时得以保留,覆盖表面得到保护,未受光照部分在显影时脱保护被腐蚀掉,由于非保护部分与入射光相反,因此称为负片型感光树脂。能够作为负片型感光树脂的聚合物应具有光交联,或者光聚合能力。与光敏剂配合,可以作为光敏涂料、光敏胶和负性光刻胶使用。

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