1) Cottrel gas filter( Cottrel gas cleaner)
气体电滤器
2) electrostatic filter for gases
气体静电过滤器
3) gas filter (used in high purity gas system)
气体过滤器
5) air cleaner body
滤气器壳体
6) gas filter
气体滤波器
1.
It also introduces the development,installation and adjustment of gas filter system of atomic and molecular physics beamline at National Synchrotron Radiation Laboratory.
本论文主要介绍了利用同步辐射真空紫外光电离和光吸收谱,结合量子化学计算,从实验和理论上研究小分子的单电离和双电离,同时还介绍了国家同步辐射实验室原子分子物理光束线气体滤波器的研制、安装和调试工作。
补充资料：气体过滤器
分子式：
CAS号：
性质：是依据碰撞、扩散和截获机理将气体中粒子过滤掉的装置。集成电路发展到兆位级后，对超净提出了更严格要求。SEMI标准对10/0.1级以管道供给的氮和氩气中规定≥0.1μm粒子≤0.4个/L；16M DRAM用气中大于0.1μm的粒子小于1个/L。在超高纯气体或电子气体供气系统中，为了脱除由于振动或气流冲击所造成的脱落粒子，应在阀门和配件下游和使用所前安装过滤器。粒子过滤器的选型及规格视气体控制规范而定。过滤器壳体一般采用316不锈钢，滤芯有烧结的多孔金属滤芯，耐腐蚀耐热的镍基合金，100%镍合金，铝陶瓷，Teflon膜，陶瓷膜等。
CAS号：
性质：是依据碰撞、扩散和截获机理将气体中粒子过滤掉的装置。集成电路发展到兆位级后，对超净提出了更严格要求。SEMI标准对10/0.1级以管道供给的氮和氩气中规定≥0.1μm粒子≤0.4个/L；16M DRAM用气中大于0.1μm的粒子小于1个/L。在超高纯气体或电子气体供气系统中，为了脱除由于振动或气流冲击所造成的脱落粒子，应在阀门和配件下游和使用所前安装过滤器。粒子过滤器的选型及规格视气体控制规范而定。过滤器壳体一般采用316不锈钢，滤芯有烧结的多孔金属滤芯，耐腐蚀耐热的镍基合金，100%镍合金，铝陶瓷，Teflon膜，陶瓷膜等。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条