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1)  surface polishing; plane buffing
抛光平面
2)  planarization
平面抛光
3)  flat polisher
平面抛光机
4)  Ultra precision Surface Polishing
超精密平面抛光
5)  precision plane polishing machine
精密平面抛光机
6)  chemical mechanical planarization(CMP)
化学机械平面抛光(CMP)
补充资料:抛光剂,抛光混合剂
CAS:68909-13-7
中文名称:焙烧提浓的氟碳铈镧矿;抛光剂,抛光混合剂
英文名称:Bastnaesite, calcined concentrate;Calcined bastnasite;bastnaesite, calcined conc.;polishing compound;Bastnaesite,calcined concentrate
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参考词条