1) buried servo
埋层伺服
2) servo
[英]['sɜ:vəʊ] [美]['sɝvo]
伺服
1.
Application of Delta-Cimic Electronics CNC & Servo on Dispenser Machine;
中达电通数控和伺服在点胶机上的应用
2.
Movement control of
servo axis by PLC;
用PLC完成对伺服轴的运动控制
3.
Position control of honing machine by means of
servosystem with fuzzy control;
基于模糊控制的珩磨机伺服系统位置控制
3) buried layer
埋层
1.
Study on the Ge
buried layer modulated crystallization in Ge/Si multilayer films;
Ge/Si纳米多层膜的埋层调制结晶研究
2.
Structure study of SiC
buried layer by high temperature C~+ implantation;
高温碳离子注入形成碳化硅埋层的结构研究
3.
The measurement method of pattern shift during buried layer epitaxial process was synthetically introduced,including angular lapping stain method and measuring a ratio between the line width of a linear pattern vertical to the orientation flat and line width of a linear pattern parallel to the orientaiton flat.
给出了图形漂移的定义,综合介绍了埋层外延中图形漂移的监测方法,其中包括常规的磨角染色法和无损伤测量垂直和平行于参考面两个方向上图形线宽的变化比例法。
4) Servo system
伺服系统
1.
Design and Debugging of Axis Z Servo System Controlled by UMAC;
UMAC控制下Z轴伺服系统设计与调试
2.
AC servo system for CMK61200D×80/32 heavy horizontal numerical control machine tool;
CMK61200D×80/32重型卧式车磨数控机床伺服系统
3.
Design and simulation of NC feed servo system by MATLAB;
基于MATLAB的数控进给伺服系统设计与仿真
5) servo valve
伺服阀
1.
Analysis of null high-frequency free-running oscillation of 3-stage electro-hydraulic servo valve;
三级电液伺服阀零位高频自激振荡机理分析
2.
Mathematical model and experimental verification of high flow cartridge
servo valve;
大流量插装式伺服阀数学模型及试验验证
3.
Study on thermal deformation compensation based on giant magnetostrictive material actuator for servo valve;
超磁致伸缩材料转换器喷嘴挡板伺服阀的热变形补偿研究
6) servo control
伺服控制
1.
Identification of EDG’s Status and Servo Control;
电火花磨削加工状态的识别与伺服控制
2.
Cross-Coupling Algorithm Based Servo Control of Ultra-precision CNC Machine Tool;
交叉耦合算法的超精密数控机床伺服控制
3.
Reform of control system for gear shapers machine based on PLC and
servo control;
应用PLC伺服控制对插齿机床控制系统进行的改造
补充资料：步进电机和交流伺服电机比较选择
【iEicn.com编者按】 步进电机是一种离散运动的装置，它和现代数字控制技术有着本质的联系。在目前国内的数字控制系统中，步进电机的应用十分广泛。随着全数字式交流伺服系统的出现，交流伺服电机也越来越多地应用于数字控制系统中。为了适应数字控制的发展趋势，运动控制系统中大多采用步进电机或全数字式交流伺服电机作为执行电动机。虽然两者在控制方式上相似（脉冲串和方向信号），但在使用性能和应用场合上存在着较大的差异。现就二者的使用性能作一比较。
1.控制精度不同
两相混合式步进电机步距角一般为3.6°、 1.8°，五相混合式步进电机步距角一般为0.72 °、0.36°。也有一些高性能的步进电机步距角更小。如四通公司生产的一种用于慢走丝机床的步进电机，其步距角为0.09°；德国百格拉公司（BERGER LAHR）生产的三相混合式步进电机其步距角可通过拨码开关设置为1.8°、0.9°、0.72°、0.36°、0.18°、0.09°、0.072°、0.036°，兼容了两相和五相混合式步进电机的步距角。
交流伺服电机的控制精度由电机轴后端的旋转编码器保证。以松下全数字式交流伺服电机为例，对于带标准2500线编码器的电机而言，由于驱动器内部采用了四倍频技术，其脉冲当量为360°/10000=0.036°。对于带17位编码器的电机而言，驱动器每接收217=131072个脉冲电机转一圈，即其脉冲当量为360°/131072=9.89秒。是步距角为1.8°的步进电机的脉冲当量的1/655。
2.低频特性不同
步进电机在低速时易出现低频振动现象。振动频率与负载情况和驱动器性能有关，一般认为振动频率为电机空载起跳频率的一半。这种由步进电机的工作原理所决定的低频振动现象对于机器的正常运转非常不利。当步进电机工作在低速时，一般应采用阻尼技术来克服低频振动现象，比如在电机上加阻尼器，或驱动器上采用细分技术等。
交流伺服电机运转非常平稳，即使在低速时也不会出现振动现象。交流伺服系统具有共振抑制功能，可涵盖机械的刚性不足，并且系统内部具有频率解析机能（FFT），可检测出机械的共振点，便于系统调整。
3.矩频特性不同
步进电机的输出力矩随转速升高而下降，且在较高转速时会急剧下降，所以其最高工作转速一般在300～600RPM。交流伺服电机为恒力矩输出，即在其额定转速（一般为2000RPM或3000RPM）以内，都能输出额定转矩，在额定转速以上为恒功率输出。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条