补充资料：激光束感光树脂

分子式：
CAS号：

性质：  指以激光束为光源的感光树脂。分为可见光和紫外光两种激光束感光树脂，激光束加工工艺的可控性好，光强度高，用于该光刻工艺的感光树脂与普通的可见光和紫外光感光树脂基本相同。常见的包括重氮光交联型树脂、光聚合型树脂和银盐扩散型复合树脂等，广泛用于印刷制版。采用激光后光输出功率加大，光刻时间缩短。

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