1) unstable or hysteresis loop width
不稳定回线环宽
2) unstable or hysteresis loop height
不稳定回线环高
3) stabilized loops
循环稳定回线
4) linewidth stability
线宽稳定性
1.
The writing power and defocusing amount are synchronously adjusted to set photoresist threshold at the position where the linewidth variation rate is small,thereby the linewidth sensitivity to variation of actual exposure dose and photoresist threshold is weakened,and then the linewidth stability during defocusing laser direct writing is guaranteed.
该方法通过同时调节激光功率和离焦量,使光刻胶的曝光阈值处于线宽对曝光量的变化率较小位置,从而可以弱化线宽对实际曝光量或光刻胶阈值等变化的敏感度,提高利用离焦方法进行衍射光学元件制作时的线宽稳定性。
5) instability line
不稳定线
6) unstable loop
不稳定回路
补充资料：IC工艺线宽
线宽:4微米/1微米/0.6微未/0.35微米/035微米等,是指IC生产工艺可达到的最小导线宽度,是IC工艺先进水平的主要指标.线宽越小,集成度就高,在同一面积上就集成更多电路单元.
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条