补充资料：原子层外延

原子层外延
atomie layer ePitaxy

原子层外延atomie layer epitaxy把金属与非金属的两种不同气体原子或化合物分子分别交替地化学吸附在衬底上(每交替循环吸附一次即可生长一层单原子层)，不断地交替循环吸附，而生长出一定厚度外延膜的技术。简称ALE。是T.森托拉(S untola)发展起来的技术。 ALE的关键在于要形成化学吸附的化学键，它要一定的激活能，故反应温度要足够高。化学吸附只能吸附一层原子层，过多的原子碰撞在表面上只能形成物理吸附，在较高温度下很快地被蒸发掉。因此，原子层外延的生长厚度是“自控”的。化学吸附反应是不可逆的，但温度过高也会发生反蒸发并导致化学键断裂。生长速度还取决于压力、源材料、衬底材料、反应动力学及吹洗时间等。例如，源的分子大小与成分也会影响生长速度。元素Zn作源能达到单原子层生长，ZnC12在表面上的化学吸附所占的空间较大，Zn的表面密度比纯Zn小，因此需要2一3次交替吸附才能长成一个单原子层。衬底可用单晶与无定形衬底，在玻璃上能长出多晶与择优取向的晶体薄膜。 生长过程是在分子束外延、低压金属有机化合物气相沉积、化学束外延、金属有机化合物分子束外延与氢化物化学气相沉积等设备中进行的。但它们与ALE不同的是用2个或多个源同时喷射在衬底上，生长速度取决于束流的大小，而不是二次交替吸附所需的时间。 广泛地使用m一V族与n一VI族半导体化合物薄膜生长，也能生长金属氧化物与氮化物的薄膜。一般反应式为 AX(g)+(XY)二(s)一AX·(XY)二(s) BY(g)+AX·(XY)，札s)一(XY)二+1(s)+AB(g)即气体AX吸附在(XY“，晶体表面，气体BY吸附在AX表面上，经过反应放出AB气体，晶体(XY)，增加了一层。 此法的特点是膜厚均匀，可进行原子平面掺杂，可制成原子层厚度量级的超晶格与量子阱，可以消除晶格失配大的超晶格所产生的晶格弛豫。 ALE应用范围很广，可应用在集成电路、微波混合集成电路、密纹唱片、太阳反射器的上光涂层、光纤光学、半导体激光器、光伏电池、传感器、电荧光显示器等方面。(袁诗鑫)

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